產品介紹

 Thermo Scientific™ Helios™ G4 DualBeam™產品系列憑借其的聚焦離子束和電子束性能、專有軟件、自動化和易用性特征，重新定義了樣品制備和三維表征的標試方式。屬于業界的Helios DualBeam系列的第四代產品，專為滿足科學家和工程師的各類分析及研究需求而設計，它將創新的Thermo Scientific Elstar ™ 電子鏡筒和的Thermo Scientifc Tomahawk ™ 離子鏡筒有機結合，前者可實現分辨率成像和材料襯度，而后者可實現速、、確的高質量樣品制備。系統不僅配置的電子和離子光學系統，還采用了一系列的技術，可實現簡單一致的高分辨率S/TEM和原子探針斷層掃描（APT）樣品制備，以及質量的內部和三維表征，即使在挑戰性的樣品上也表現出色。Helios G4 CX DualBeam系統的創新結合最易于使用、面的 Thermo Scientific AutoTEM ™4軟件（可選）和專業的應用知識，可快速輕松地定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。為了獲得高質量的結果，需要使用低能離子進行精拋，以限度地減少樣品的表面損傷。Tomahawk聚焦離子束（FIB）鏡筒不僅可以在高電壓下進行高分辨率成像和刻蝕，而且具有良好的低電壓性能，可以制備高質量的TEM薄片。

產品特點

? Tomahawk離子鏡筒實現速、的高質量、定位TEM和原子探針樣品制備。

? Elstar電子鏡筒以最短時間獲取納米尺度信息。

? 多達6個集成化鏡筒內及透鏡下探測器，采集優質、銳利、無荷電圖像，提供最完整的樣品信息。

? 可選AS&V4軟件，精確定位感興趣區域，獲取質量、多模態內部和三維信息。

? 小于10nm復雜結構的快速、準確、精確刻蝕和沉積。

? 高度靈活的110 mm樣品臺和內置的Thermo Scientific Nav- Cam ™ 相機實現精確樣品導航。

? 集成化樣品清潔管理和專用的DCFI和Thermo Scientific SmartScan ™ 等模式實現無偽影成像。

參數

電子束

? 在工作距離下：

  ? 30kV下STEM 0.6nm

  ? 15kV下 0.6nm

  ? 1kV下 1.0nm

  ? 1kV下 電子束減速模式 0.9nm

? 在束重合點：

  ? 15kV下 0.6nm

  ? 1kV下 2.5nm

? 電子束流范圍：0.8pA–100nA

? 加速電壓范圍：200V-30kV

? 著陸能量范圍： 20eV-30keV

? 水平視場寬度：4mm工作距離下為2.3mm

離子光學

? 的大束流Tomahawk離子鏡筒

? 離子束流范圍：0.1pA–65nA

? 加速電壓范圍：500 V-30kV

? 兩級差分抽吸

? 飛行時間（TOF）校準

? 15 孔光闌

? 水平視場寬度：在束重合點出為0.9mm

? 離子源壽命至少1,000小時

? 離子束分辨率（在重合點處）：

 ? 30kV下 4.0nm（采用統計方法）

 ? 30kV下 2.5nm（采用選邊法）

探測器

? Elstar 透鏡內SE/BSE 探測系統（TLD-SE、TLD-BSE）

? Elstar 鏡筒內SE/BSE 探測系統（ICD）

? Elstar 鏡筒內BSE 探測系統（MD）

? ETD–Everhart-Thornley 二次電子探測器

? 樣品室紅外CCD相機，用于樣品臺高度觀察

? ICE探測器-高性能離子轉換和電子探測器，用于采集二次電子和二次離子

? Nav-Cam ™ ： 樣品室內彩色光學相機，用于樣品導航

? DBS–可伸縮式低電壓、高襯度、固態背散射電子探測器

? STEM 3+ – 可伸縮分割式探測器(BF、DF、HAADF)

? 集成電子束流測量

樣品臺和樣品

? 靈活五軸電動樣品臺：

 -XY范圍：110mm

 - Z范圍：65mm

? 旋轉：360°（連續）

? 傾斜范圍：-15°到 +90°

? XY重復精度：3μm

? 樣品高度：與優中心點間隔85mm

? 樣品質量（0°傾斜）：2kg（包括樣品托）

? 樣品尺寸：可沿X、Y軸旋轉時直徑為110mm（若樣品超出此限值，則樣品臺行程和旋轉會受限）

? 同心旋轉和傾斜真空系統

? 無油的真空系統

? 樣品倉真空（高真空）：< 2.6 x 10 -6 mbar（24小時抽氣后），抽氣時間：< 5 分鐘樣品倉

? 電子束和離子束重合點在分析工作距離處（SEM 4mm）

? 端口：21個

? 內寬：379mm

? 集成等離子清洗

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