在宇航空間電推進、超精密等離子體加工、半導體晶圓刻蝕等領域的技術極限指標與工藝穩定性均與等離子體精密診斷緊密相關，傳統的探針法測量等離子體容易受到電、磁場干擾，測量的可重復性與可互換性差，測量結果通常僅有數量級上的指導意義；激光誘導熒光診斷系統能夠顯著提升等離子體測量結果的精度和全面性，是世界等離子體物理研究機構的重要測試研究工具。NEWPORT 公司LIF-VelocityTM-6700激光誘導熒光診斷系統使用了專門為速度分布函數測試研發的專用激光模組，在各測試性能指標方面大幅優于目前其他商用系統。
NewPort旗下的New Focus系列可調諧激光器擁有*的可調諧二極管激光系統，為了保證在整個輸出光譜內處于單個模式和模式跳模自由，具有非常精細的調諧分辨率、高穩定性、低噪聲和窄線寬。本激光誘導熒光診斷系統圍繞TLBVelocity™系列專用定制窄線寬可調諧激光器設計組建，寬調諧激光器具有超寬粗調諧范圍，其種子光具有超過50 mW的自由空間輸出功率，可提供10 nm/s的調諧速度，無跳模的調諧范圍高達60GHz。
? 可測量等離子體參數特性：離子/原子速度分布函數、速度、溫度、亞穩態相對密度；
? 可測量物質種類：Xe I，Xe II等（可根據應用需求定制）
? 具有IV類激光級精確波長無跳模調諧功能；
? 具有對激光波長進行實時精密測量功能；
? 具有對速度零點的激光波長精確標定功能；
? 具有激光誘導熒光光譜一鍵測試記錄功能；
? 具有等離子體參數特性標定以及一鍵分析功能。
應用領域
? 在空間電推進：霍爾推力器、離子推力器、MPD、VASIMR等
? 超精密等離子體加工：霍爾效應離子源，考夫曼型離子源等
? 半導體晶圓刻蝕：CCP刻蝕機、ICP刻蝕機等
? 核聚變物理：EAST等托卡馬克核聚變裝置
技術參數：
規格型號 | NEWPORT公司LIF-VelocityTM-6700 |
產地 | 美國 |
測試參數 | 離子/原子速度分布函數、速度、溫度、亞穩態相對密度 |
激光波長粗調范圍覆蓋 | 834nm-835nm |
無跳模調諧范圍 | 不低于60GHz |
輸出激光功率 | 不低于400mW |
激光波長監測精度 | 優于0.75ppm |
激光波長監測可重復性精度 | 優于0.1pm |
單次測量速度分布函數寬度 | >40000m/s |
速度測量范圍： | 0.5km/s~80km/s |
速度測量誤差 | ±0.3km/s |
速度測量重復性 | 1.0% |
測量亞穩態密度相對值誤差 | 15% |
測量離子/原子溫度范圍 | 600K~30000K |
速度零點標定偏差 | 不超過0.2pm |
基本尺寸：L（mm）×W（mm）×H（mm） | 1500mm×1200mm×750mm |
重量 | 200kg |
工作電源 | 外部交流220VAC/50Hz |
全系統功耗 | 不大于1450W |
LIF系統實物裝置及典型測試應用結果
