1905年，法國工程師 Leon Creux 發明了渦旋壓縮機，而今渦旋泵被用作無油真空泵。每臺渦旋泵都由兩個阿基米德螺旋件構成，這兩個螺旋件彼此相對并錯開180°，因此形成了若干個大小不一的月牙形凹槽。采用偏心驅動的設計，運動螺旋件相對于固定螺旋件是按確定軌道旋轉，從而縮小了凹槽容積并將氣體從外朝內擠壓，實現抽氣功能。保持精確的制造公差并選擇合適材料對于渦旋泵質量十分重要。
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靈活
§抽速：7, 10, 15, 18 m3/h §1相或3相電版本
可靠
§干泵：工藝氣體不接觸潤滑劑
§ATEX認證（內部ATEX II 3 G c IIB T4）
§水蒸氣處理能力大
§苛刻應用版（SC C plus）
簡單
§密封墊使用壽命延長（>21900小時）
§密封墊更換簡單（10分鐘）
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典型應用
- 電子束焊接
- 激光器
- 檢漏系統
- 加速器/同步加速器
- 表面分析儀器
- 掃描電子顯微鏡
- 進樣室
- 光譜儀
- 照明
- 渦輪分子泵系統前級真空泵
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SC 7 plus | SC 10 plus | SC 15 plus | SC 18 plus | |
抽速 | 6.1 m3/h 3.6 cfm | 10.6 m3/h 6.2 cfm | 14.5 m3/h 8.5 cfm | 20 m3/h 11.8 cfm |
關氣鎮極限壓強 | 0.02 mbar 0.015 Torr | 0.009 mbar 0.007 Torr | 0.009 mbar 0.007 Torr | 0.03 mbar 0.02 Torr |
水蒸氣處理量 | 100 g/h | 140 g/h | 280 g/h | 220 g/h |
水蒸氣允許壓強 | 22 mbar | 18 mbar | 26 mbar | 15 mbar |
噪音值 | 55 dB(A) | 55 dB(A) | 55 dB(A) | 55 dB(A) |
極限下運行能耗 | 260 W | 280 W | 300 W | 260 W |
重量 | 26 kg 57 lb | 26 kg 57 lb | 26 kg 57 lb | 26 kg 57 lb |
漏率 | < 1 x 10-6 mbar l/s | < 1 x 10-6 mbar l/s | < 1 x 10-6 mbar l/s | < 1 x 10-6 mbar l/s |
IP等級 | IP 20 | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
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