半導體冷水機低溫冰水機Chiller ZL系列
主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度控制，具有溫度穩定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。
半導體冷水機低溫冰水機Chiller ZL系列
適合元器件測試用設備，在用于惡劣環境的半導體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產的測試階段包括在多種溫度下的電子冷熱測試和其他環境測試模擬。 用于芯片、模塊、集成電路板、電子元器件等提供且快速的環境溫度。是對產品電性能測試、失效分析、可靠性評估的儀器設備。應用于半導體企業、航空航天、光通訊、高校、研究所等領域。
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護裝置
快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產
運行穩定、準確控溫
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護裝置
快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產
運行穩定、準確控溫
