RHESCA CSR-5000超薄膜附著強度測試儀概要： |
基于JIS R-3255標準，以MICRO SCRATCH法評價光學薄膜、半導體擴散工程、表面改質以及記憶媒體等各種用途的薄膜與基材，或薄膜與界面之間的密著力（附著強度）的超薄膜附著強度測試儀。為成膜研究與測試所的測試設備。
CSR-5000超薄膜附著強度測試儀特點： |
CSR-5000采用高感度的能夠檢測出薄膜破壞的MICRO SCRATCH法，測試納米級別的薄膜的附著強度 |
可測量膜厚μm以下的超薄膜的密著強度 |
加熱環(huán)境下評價可能 |
鏡片等曲面測量可能 |
可以進行以特定荷重來評價的特定負荷測試 |
測試部位的設定以及測試后的劃傷觀察等簡單易行 |
測試不需要花費很多時間(1次測試約1～2分鐘) |
CSR-5000超薄膜附著強度測試儀的規(guī)格參數 |
荷重檢出機構 | 荷重印加范圍 | 1mN ～1500mN |
荷重分解能 | 0.3mN | |
10RPM±5％ -注 | 300%FS | |
剝離檢出（垂直方向） | 檢出信號 | 加速度信號 |
頻率范圍 | 20Hz ～10kHz | |
摩擦力檢出（水平方向） | 檢出信號 | 檢出信號 |
頻率范圍 | 20Hz ～10kHz | |
傳感器勵振機構 | 勵振頻率 | 45H |
勵振振幅 | 0?5?10?20?40?50?80? 100μm | |
探針 | 觸針形狀 | Φ1.6×6.5mm |
材質 / 形狀 | 金剛石R 5?10?15?25?50? 100μm | |
材質 / 形狀 | 藍寶石R 250?500μm | |
Z 軸驅動機構 ※荷重印加方向 | 驅動方式 | 步進馬達驅動 |
驅動范圍 | 20mm | |
驅動分解能 | 0.5μm | |
驅動速度( 測試時) | 0 ～20μm/s | |
驅動速度( 準備時) | 1mm/s | |
試料臺XY軸移動機構 | 驅動方式 | 千分尺手動調節(jié) |
移動范圍 | ±6.5mm | |
Data輸出方式 | USB | |
尺寸及重量 | W540×D520×H630 (37kg) 含顯微鏡 | |
電源 | AC100V ～240V | |
