| V10FC直接熱式MFC/MFM采用熱式測量原理，直接用兩支快速反應的鎧裝傳感器測量氣體流量。由于沒有層流元件，并采用哈氏合金傳感器，V10FC可用于易結晶和腐蝕性的氣體測量。對低壓管道或者壓力損失小的應用，V10FC也同樣適用。 | ||
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| 產品特點 |
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| 技術指標 | V10FC-RC質量流量控制器 | V10FC-RM質量流量控制器 |
| 量程范圍 | 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM | |
| 控制范圍 | 控制器20：1 | 流量計20：1 |
| 準 確 度 | 流量：±3%F.S 壓力：0.5% F.S 溫度：±1℃ | |
| 線 性 | ±0.5%F.S | |
| 重復精度 | ±0.2%F.S | |
| 響應時間 | 100ms | 10ms |
| 數 字 量 | RS232/485，MODBUS協議 | |
| 模 擬 量 | 0～5V、4～20mA、1～5V | |
| 供電 | 12V/24V/±15V可選 | |
| 工作溫度 | 0～50℃ | |
| 工作壓力 | 工作壓差：0.03～0.5MPa | 工作壓降：<0.01Mpa |
| *大耐壓 | 低壓1MPa，中壓3MPa，高壓10MPa | |
| 電氣連接 | DB15孔 | |
| 漏 率 | 1×10-9SCCSHe | |
| 溫度系數 | ±0.015%F.S/℃ | |
| 底座材質 | 316L | |
| 密封材料 | 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠 | |
| 接 頭 | VCR1/4;swagelokφ6 | |
