滑軌進料系統、加熱系統、組合型收集系統、預熱及真空系統、工控及操作系統。
1、叉車式進料系統：
軌道滑動式進出料模式，配備5層加熱托盤支架每一層2個托盤且上下左右密封，且每一層支架配備加熱元器件，加熱溫度可控，且托盤可從托盤支架上自由裝/卸。每一層托盤支架外側配備進氣口，給腔體提供氣流導向。門板與腔體之間采用加裝護照和石墨密封，即可防止材料沉積到門板上，也可維持基礎真空。
2、加熱系統
加熱腔體采用氧化鋁陶瓷纖維制品與加熱絲一體成型設計，金屬內腔體，測溫元件采用K型熱偶，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表，可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號。
3、組合型收集系統
收集區由兩個收集腔體組成，與加熱腔體連接處的部分，配備加熱系統，溫度可控。另外一節收集腔體，配備可滑動裝置，方便收集腔體取料、拆卸、清理。收集管底部配備風冷系統，尾端配備艙門以及排氣接口與機械泵連接。
4、預熱及真空系統
進氣系統配備預熱裝置，預熱的氣體從裝料托盤進氣口接入、經過主加熱腔體再從收集
管道排出。設備配備機械泵和電阻真空計，并含有配套使用的波紋管，手動擋板閥，卡箍等連接部件。
5、工控及操作系統
配備15寸工控屏，集加熱、真空、數據處理等控制為一體。
1、軌道滑動式進出料模式，配備載料托盤，可通過跟換托盤來實現連續升華；
2、每層托盤都配備加熱系統，且溫度可控，溫場均勻；
3、配備氣體引流系統，輔助材料升華后沉積到收集區；
4、采用觸摸屏控制，參數設置和操作直觀方便，參數自動記錄；
5、設備集成化設計、以及集成化管理，美觀方便。
| 整體尺寸 | 長*寬*高 6500*1400*1855mm（進料滑軌打開） 備注：放料托盤劃出與加熱主腔體預留500mm間隙 | |
| 控制柜尺寸 | 長*寬*高=950*500*2000mm | |
| 整機重量 | ≤2000kg，每平方承重約400-500kg | |
| 滑軌式進料系統 | 單個托盤尺寸 | 長*寬*高=800*640*50mm |
| 單個托盤重量 | 約10kg | |
| 托盤數量 | 5層10個 | |
| 托盤材質 | 304不銹鋼 | |
| 通氣 | 每一層托盤上下左右密封，且每層雙邊配備吹起口，配備質量流量計可控制進氣均勻性 | |
| 加熱系統 | 腔體尺寸 | 長*高*高深=900*1000*1400mm（以實機為準） |
| 使用溫度 | 450℃ | |
| 溫度 | ≤600℃ | |
| 保溫材質 | 氧化鋁陶瓷纖維 | |
| 加熱元件 | 加熱棒 | |
| 測溫元件 | K型熱偶 | |
| 密封方式 | 石墨密封 | |
| 升溫速率 | 1-15℃/min，可調 | |
| 控溫方式 | 人機界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，數字工控儀表雙控，采用工業智能控溫儀表和軟件實現雙控，采用模糊型PID控制 | |
| 內腔體材質 | 304不銹鋼 | |
| 收集系統 | 收集管尺寸 | 帶加熱區Φ400*500mm，可拆卸 |
| 帶隔熱防護區Φ400*1300mm，帶滑軌，可拆卸 | ||
| 腔體連接法蘭 | 異形定制 | |
| 冷卻方式 | 風冷 | |
| 加熱方式 | 加熱絲 | |
| 排水 | 配備排水裝置 | |
| 預熱及真空系統 | 預熱溫度 | 400℃ |
| 爐管尺寸 | Φ100mm | |
| 加熱元件 | 電阻絲 | |
| 溫控系統 | 30段可編程控溫，PID參數自整定，具有超溫和斷偶報警功能 | |
| 加熱區長度 | 400mm | |
| 機械泵 | BSV30，抽速30m³/h | |
| 真空計 | 成都正華，電阻規 | |
| 真空范圍 | ≤100Pa | |
| 排氣接口 | KF25/40 | |
| 工控及操作系統 | 控制方式 | 15寸觸控屏 |
| 功能實現 | 整合設備各部件開關，真空、加熱等控制，軟件通訊功能穩定可靠，可視化溫度且數據實時記錄且可導出 | |
| 電 | 30KW，整機使用電源380V，三相五線制； | |
| 三色燈 | 黃燈為待機，綠燈為運行，紅燈為報警 | |
| 報警防護 | 超溫聲光報警 | |
| 熱電偶故障聲光報警 | ||
| 生產結束聲光報警 | ||
| 前級泵異常聲光報警 | ||
| 配備機械式急停按鈕 | ||
