科研設備 科研儀器設備 科研爐是半導體加工中的典型熱處理設備,用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。
科研設備 科研儀器設備 科研爐主要技術參數:
◆工藝管數量:1-4管
◆工藝管口徑:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆工作溫度范圍:400~1280℃
◆恒溫區長度及精度±0.5℃/1080mm
◆工藝均勻性:≤±5%(30~60歐姆)
◆結構型式:臥式熱壁型
◆氣體流量設定精度:±1%F.S
◆氣路系統氣密性: 1×10-7pa.m3/s
◆超凈工作臺:凈化等級:100級(萬級廠房)噪音:≤62dB(A)震動:≤3μm
◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制
◆控制方式: 工業微機控制
晨立公司擁有十幾年的專業研發制造經驗。自成立以來,堅持產品設計和服務質量共同發展,積極進取,精益求精,不斷提高產品核心競爭力。公司產品擁有自主產權。有5名中、高級職稱的工程師組成業的研發團隊,從事熱工行業近20年之久,有豐富的生產制造經驗。
公司本著和諧、共贏,以“質量求發展、以誠信為根本、以客戶為中心、以用戶滿意”為最終目標的企業方針,為客戶提供優質的產品,優良的服務。