ZNX超精密電容位移傳感器特點(diǎn)：
(1)、量程20～1250μm； 分辨率<0.1nm；線性0.02%；< span="">
(2)、對(duì)位置的尺度變化非常敏感，精確測量到皮米級(jí)位移變化；
(3)、可調(diào)諧以滿足應(yīng)用要求；
(4)、高精度，線性度可至0.02%FS；
(5)、高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項(xiàng)）材料選擇以限度地減少位置漂移；
(6)、適用于各種應(yīng)用并適應(yīng)各種環(huán)境挑戰(zhàn)，可用于真空，低溫，強(qiáng)輻射。
ZNX超精密電容位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：
壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。
ZNX超精密電容位移傳感器技術(shù)規(guī)格：
傳感器型號(hào) | ZNXB | ZNXC | ZNXD |
小量程μm | 20 | 100 | 250 |
靈敏度μm/V | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
溫漂nm/K | 1 | 4.4 | 11 |
線性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
大量程μm | 100 | 500 | 1250 |
靈敏度μm/V | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
溫漂nm/K | 3 或 230 | 3 或 230 | 3 或 230 |
線性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
工作溫度 | +10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探頭） | ||
存儲(chǔ)溫度 | 0～+70℃ | ||
相對(duì)濕度 | 5～95%（無冷凝） | ||
頻響Hz | 50/500/5000 | ||
控制器型號(hào) | CC-A-4101 | ||
傳感器通道個(gè)數(shù) | 1 | ||
供電 | ±15V，75mA | ||
模擬輸出V | ±10 | ||
數(shù)字輸出 | |||
尺寸mm | 218 x 77 x 34 | ||
頻響Hz | 100 or 1k or 10k | ||
◆我們保留規(guī)格變化而不另行通知的權(quán)利。
ZNX超精密電容位移傳感器測量原理：
