tcwafer晶圓測試儀熱電偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時，也可利用此傳感器來持續監控在熱處理工程中晶圓暫態溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等！（溫度的均勻與否，良率）
溫度范圍：
低溫：-150 to 700°C（硅基膠粘劑）
高度：-150 to 1,200°C（焊接設計）
熱電偶選型：
● Type K (精度級別±1.1°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,372°C
● Type N (精度級別±1.1°C or 0.4%)， 溫度范圍 -270 to 1,300°C
● Type E (精度級別±1.0°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,000°C
● Type T (精度級別±0.5°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 400°C
● Type R/S (精度級別±1.5°C or 0.25%) ，溫度范圍 -50 to 1,768°C
晶圓材質：
硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底。可按客戶要求定制基板、形狀和尺寸。
主要規格：
4寸，6寸，8寸，12寸
擴展線：可選絕緣層材質，接頭類型。密封的扁平電纜，可在大氣中打到10-7托。長度由客戶選
傳感器引線：長達40英尺–可定制,
被覆材質：石英 陶瓷纖維 TEF
絕緣材料：石英，聚四氟乙烯，二氧化硅，陶瓷，聚酰*胺
線規：20 AWG – 40 AWG
a）主要型號有k/t/r(根據測溫范圍以及精度要求選型)
k型適合：0°c -600°c，精度級別為±1.1°c or ±0.4%
t型適合：200°c以下，精度級別為±0.5°c or ±0.4%
r型適合：0°c-1100°c，精度級別為0.1%
b)產品主要規格有：2寸/4寸/6寸/8寸/12寸
c)溫接點可生產1~24點（但硅片越小測溫點盡量減少，因為焊點需要打孔存在應力，另外需要排線，測溫點越多難度越高）
d)使用環境為普通或者真空環境
e）晶圓材質：硅片或藍寶石襯底片
tcwafer晶圓測試儀熱電偶
菘啟工業有限公司是中國臺灣溫度傳感器制造公司，于2002年在珠三角地區設立的服務據點松揚溫控。菘啟工業有限公司在1995年2月于臺北成立，擁有：”BS EN ISO 9001:2000 品質認證”，”ISC/IEC GODE25 溫度實驗室認證”，”UL IEC 17025 二級溫度實驗室認證”等三大認證。以其的設備，專業的知識，的技術，已為國內外廣大客戶提供溫度傳感控制方面的解決方案。菘啟工業有限公司多次參與中國傳感器協會會議，并于會中針對溫度傳感技術發表專題研討。不斷的創新與對品質一貫的堅持，是我們宗旨。期望能為廣大客戶提供優良，高質的服務。
菘啟工業有限公司——是溫度測量控制產品及高溫材料供應商，產品應用于航太、半導體、太陽能光伏、LED、石油化工也、汽車工業、食品業等高科技產業及傳統產業。公司依托中國臺灣總公司的強大研發、校驗能力；東莞的生產基地以及昆山的技術服務與支持，現已形成全方面的產品設計、開發、制造、校驗的系統方案提供商。
公司始終堅持為客戶創造更多價值；提供穩定可靠的產品；細致專業的服務，讓THERMOWAY品牌獲得業界更多的認同及尊重
THERMOWAY RTD WAFER 專為需要高精度溫度測量的製程所 設計，例如半導體光阻劑處理系統、晶圓探測器和許多其他類型 的半導體製造設備。 透過研發團隊精心整合設計帶來高量測精度和結果穩定性， WAFER 上的 RTD 傳感器，黏合及封裝材料，四線式電阻測量 方式是關鍵的集成元件。
Features l 工作溫度範圍： -80°C to 300°C l 溫度點位： 1 to 160 points l 提供校正服務 l 提供應用軟體及分析系統
Applications l 測量和記錄製程週期的晶圓溫度：裝載、升溫、穩定狀態、冷卻和卸載。 l 提升對溫度的控制及?致性。 l 管理具有嚴格熱性能規格的生產流程或為 SPC 系統提供數據。 l 在硬體或製程研發期間優化晶圓工藝。 l 在最終鑑定、晶圓廠啟動以及修復或升級系統的重新鑑定過程中對晶圓廠設備進行測試和基準測試。
