一、產品描述
MFLGQ-2Z是一款多路質量流量計控制系統，其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜可以承重1000Lbs，與本公司大多數管式爐配套使用時。各通道氣路配單獨的流量設定和狀態顯示，便與操控。此款設備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。。
二、產品特點
1．氣體從鋼瓶出來，經過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統的入口，再經過質子流量計控制氣體流量，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。
2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數盤與質子流量計安裝在同一面板上。
3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。
技術參數：
| 性能 | 氣路通道 | 2路 （可做3 4 5 路供氣） |
| 氣路流量控制 | 質子流量控制器（七星流量計） | |
| 控制精度 | ±1.5%F.S | |
| 重復精度 | ±0.2%F.S | |
| 流量范圍 | 1-500 SCCM | |
| 機械壓力表 | 一塊機械壓力表在面板，和混氣灌連接 | |
| 量程：-0.1～0.15 Mpa | ||
| 規格 | 外形尺寸 | 參考尺寸600*700*750mm（深*寬*高) |
| 重量 | 40KG |
一、售后服務
：一年保修，終身技術支持。（特別提示，耗材部分如加熱元件、樣品坩堝等不在保修范圍內因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內）
二、注意事項
·嚴禁氧氣和氫氣同時使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請嚴格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內的氧氣。不用氫氣時，應關閉閥門。
·流量計通道采用的材料為∶00Cr17面il4Mo2（相當于316L不銹鋼），通入的氣體應無水汽、低泄漏、如果要使用腐蝕性氣體用戶應在定貨時聲明。
·不得通氯化物、硫化物、等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質的配件。
·由于氣瓶內部氣壓較高，所以向混氣系統內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應采用調控范圍在0.02-0.25Mpa 的專用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等）
·氫氣瓶必須使用專用的減壓器，開啟氣瓶時，操作者應站在閥口的側后方，動作要輕緩。.氣瓶應放置在陰涼通風處，避免陽光直曬，又能耐火的專門建筑物或室外，嚴禁將氣瓶和高溫設備放在一起。
·嚴禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。
·每只氣瓶必須保留0.5 MPa的余壓。
