壓電陶瓷的特點:
容性負載,驅動電壓在0到150V
工作溫度在-20℃~120℃,
輸出位移小,輸出力大
響應速度右在微秒級
驅動要求直流穩壓電源
根據驅動的方式不同可輸出直線位移,也可以作為震蕩源使用
主要應用:
微型機械制造、超精密加工
集成電路制造、生物工程
醫療科學
光學微處理系統,光纖對接
航空航天領域
掃描探針顯微鏡
■ 峰值驅動電壓范圍:壓電陶瓷需在給定電壓內使用,超出負壓使用范圍壓電陶瓷會反向極化,影響位移輸出,超出正壓使用范圍會造成壓電陶瓷損壞;
■ 位移遲滯:在同一個電壓值下,上升曲線和下降曲線上的位移值有明顯的位移差,且這個位移差會隨著電壓變化范圍的改變而改變,驅動電壓越小則位移
差也會相應越小,壓電陶瓷的遲滯一般在給定電壓對應位移值的10%~15% 左右。
■ 輸出位移:電壓輸出150V時壓電陶瓷所產生的峰值位移值;
■ 居里溫度:陶瓷材料極化完成后所能承受峰值溫度,超出給定溫度后,壓電陶瓷會失去壓電特性;
■ 輸出力:峰值出力相當于壓電陶瓷的峰值負載變化,可以被閉環反饋位置控制。例如(壓電陶瓷當被設置在90 V的位置時,此時閉環控制位置保持恒定。可
在產生的出力——壓電陶瓷能被壓縮補償對應“60V”的力。
■ 不同負載下測試數據會有波動。
■ 以上數據均在室溫22℃下測量所得。