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Agilent HP 4156A是下一代精密半導體參數分析儀。您可以獲得佳的數字掃描參數分析儀,
可靠性測試儀,功能強大的故障分析工具和自動化的輸入檢測站,所有這些都集成在一臺儀器中。
這個新系列的設計旨在為評估亞微米幾何設備提供精度和功能。使用一臺靈活的儀器,
您可以從材料評估和器件特性一直到S終的封裝零件檢測和現場故障分析,從而提高半導體質量。
Agilent HP 4156A提供四個內置源/監視器單元(SMU),兩個電壓源單元(VSU)和兩個電壓監視器單元(VMU)。
Agilent HP 4156A將電流分辨率擴展至1 fA,精度達到20 fA。Agilent HP 4156A在每個SMU上使用全開爾文遙感。
您可以隨時添加Agilent HP 41501A SMU和脈沖發生器擴展器,它配有0 V / 1.6 A接地單元。
擴展器可接受兩個100 mA / 100 V SMU或一個1 A / 200 V SMU,以及兩個特殊同步的40 V / 200 mA /1μs脈沖發生器。
設置和測量
4156A精密半導體參數分析儀
主要特點
高分辨率/準確度和寬范圍。I:1 fA至1 A(20 fA偏移精度),V:1μV至200 V.
采用直流或脈沖模式的全自動IV掃描測量,S多可擴展至6個SMU
同步應力/測量功能,兩個高壓脈沖發生器單元(±40 V)
時域測量:60μS可變間隔,S多10,001個點
易于使用:旋鈕掃描類似于曲線追蹤器,自動分析功能
自動化:內置HP Instrument BASIC,觸發I / O功能
Agilent HP 4156A可以使用許多測量單元(包括HP 41501A中的單元)執行階梯和脈沖掃描測量以及采樣(時域)測量,而無需更改連接。
此外,您還可以輕松執行壓力測量循環測試,以進行熱載流子注入和閃存EEPROM測試等可靠性評估。
通過設置頁面并從前面板鍵,鍵盤或HP-IB(SCPI命令)填充空白來進行設置和測量。您還可以使用旋鈕掃描功能即時測量和查找設置條件,
這與曲線跟蹤器操作類似。
顯示和分析
測量和分析結果顯示在彩色CRT上,您可以疊加來自四個圖形存儲器的存儲圖形進行比較。
許多強大的圖形分析工具可以輕松分析和提取許多參數,如hFE和Vth。找到參數提取條件后,可以使用自動分析功能自動獲取參數。
輸出和存儲
設置,測量和分析數據可通過HP-IB或串行接口輸出到彩色繪圖儀和打印機。
您還可以將數據保存為MS-DOS或LIF格式的3英寸磁盤。
圖形(HP-GL或PCL)輸出文件允許您將圖形傳輸到桌面出版軟件。