IRG080電離真空計介紹
IRG080 提供低至 1% 的精度、可預測的氣體靈敏度和非常小的擴散、非常好的短期可重復性和再現性。該測厚儀是計量和校準的理想解決方案。IRG080 由 IRC081 顯示器和操作單元連接和控制。
優勢:
1為在高真空和超高真空范圍內需要高測量精度的應用而開發
2符合 ISO TS 6737 的電極系統配置
3由于可預測的相對氣體靈敏度和較小的不確定性，所有氣體種類的真實壓力
4穩定的電子發射，不受ESD或X射線效應的影響
5可重復且易于運輸
6可烘烤至 165 °C（使用耐溫電纜）或高達 400 °C（不帶連接器單元）
7用于磁屏蔽的Mu金屬中間
運營單位:離子參比計控制器 IRC081
參考標準：
1N 的精度低于 1%2
2可預測的氣體靈敏度，擴散非常小 （<1.5%）
3真正的總壓力測量
4ji jia的短期重復性 （<1%） 和重現性 （<1%）
測量原理：電子離開陰極（左側），被陽極加速至200 eV，由離子收集器聚焦。電子路徑的長度是很好的表征，因此儀表的靈敏度是可預測的。陽極柵內電子產生的離子被加速到集電極并測量為電流。陽極柵外產生的離子被導流板捕獲。
一個完整的軟件包：
1通過離子參比計控制器IRC081的操作和顯示界面
2用戶可以控制 IRG080 儀表參數
3IRC081 用戶界面軟件 （LabVIEW ） 中顯示的設置和測量值TM系列)
4數據和參數記錄功能
規格：
測量系統 熱陰極電離
電極系統配置 符合 ISO TS 6737 標準
測量范圍 （N2） 帶 IRC081 控制器<1×10-8...1×10-4毫巴
靈敏度 （N2，典型值） 29 毫巴-1
精度 （N2，典型值） 閱讀量的<±1%
重復性 （N2) 閱讀量的<1%
饋通 鋁2O3陶瓷
烘烤溫度 ≤400°C
暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵鈷、鋁2O3、塔、西
