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公司介紹主營產品

北京波威科技有限公司坐落于北京海淀中關村高科技園區，是一家集生產、研發、銷售及代理為一體的光電領域的高科技技術服務公司。產品涉及激光、光電子、光通訊、光學、物理、電子和生物等多個學科領域，可廣泛應用于教學、科研、產品開發及規模生產。業務范圍覆蓋了國內各大高校、所屬各研究所、航天科工/科技集團所屬研究所、中電集團所屬研究所、所屬各研究所等不同系統內的研究機構及相關領域內的高科技公司。波威公司始終堅持高起點，高要求，與國際一線生產廠商攜手，做到產品在技術上同行，秉承嚴謹的科學態度，務實的工作作風，誠實的經營理念，與廣大客戶攜手共創美好明天! 我們的產品有：固體激光器、半導體激光器、可調諧激光器、光纖激光器、窄線寬激光器、激光測量儀器與配件、太赫茲、高速光電探測器、紫外探測器、紅外探測器、超快探測器、焦平面陣列探測器、科學相機、光譜儀、高光譜成像系統、光束質量分析儀、空間光調制器、聲光調制器、電光調制器、高速光開關、光發大器、光衰減器、可調諧濾波器、波長轉換器、高溫光纖、紅外光纖、能量光纖、微波放大器、微波元器件、光學透鏡等光電類產品。

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產品簡介在線詢價

產品介紹：SIT-200 硅晶圓檢測儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器，利用干涉計量的方法設計制造的用于硅晶圓厚度檢測的干涉儀。與常規測厚采用寬帶光源不同，可調諧激光器具備很高的功率譜密度，從而提高了測量的動態范圍，因此，SIT-200 支持非拋光的晶圓測量，例如在濕刻過程中以及濕刻之后的晶圓。產品特點：l 全光學，非接觸式晶圓厚度傳感l 高動態范圍，可測量不規則表面l 支持

硅晶圓膜厚測量儀 SIT-200 產品詳情

詳細信息

產品介紹：

SIT-200 硅晶圓檢測儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器，利用干涉計量的方法設計制造的用于硅晶圓厚度檢測的干涉儀。與常規測厚采用寬帶光源不同，可調諧激光器具備很高的功率譜密度，從而提高了測量的動態范圍，因此，SIT-200 支持非拋光的晶圓測量，例如在濕刻過程中以及濕刻之后的晶圓。

產品特點：

l 全光學，非接觸式晶圓厚度傳感

l 高動態范圍，可測量不規則表面

l 支持濕刻制程中實時測量

l 高靈敏度、高準確度、高速度

l 遠程控制

產品參數：

測樣品	硅晶圓
可測厚度范圍	10 - 500 (n=3.5)	m
精密可調諧激光	1515 - 1585	nm
光功率	0.6	mW
指引光	紅色，Class 1M
測量時間	最短 20	ms
可重復性	<0.1 (3-σ)	m
監控輸出	干涉信號輸出
PC 界面	Ethernet

精密掃頻激光光源以高速度調諧激光波長。樣品前、后表面反射的激光的干涉信號經過PD 探測后，根據波長- 干涉信號強度的關系即可得到晶圓厚度。

北京波威科技有限公司

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