Micro LED激光巨量轉移
◆特點:
·激光巨量轉移系統;
·高精度運動控制;
·自動對位;
·多功能夾具;
·多儀器搭載,支持轉移后晶粒壞點修復;
·轉移膜。
項目 | 規格 |
尺寸 | 長*寬高:可定制 |
測試樣品大小 | Micro LED |
巨量轉移方式 | 激光 |
激光器型號 | 進? |
運動系統 | 采用高精度伺服電機,高精度滾珠螺桿,亞微米級。定位精度0.1um |
良率、精度 | 1.掃描判別率> 9.999% (扣除外觀不良) 2.重復性對位精度土0.5um |
軟件 | 特儀自主開發之軟件,全中文版,C#編程模塊化。 操作簡單,UI界面可依據客 戶需求進行定制,軟件自帶各標準測試手法,可以通過直接調用模式進行測試 |