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半自動晶圓鍵合機

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-04-07
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區上海市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量1842
  • 人氣值9651
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輔光精密儀器是的進口精密儀器和實驗室儀器設備供應商,是*基于激光和成像等*光子技術分析測試儀器的規模性進口商和代理商,服務商。

輔光儀器公司以精密光學技術為特色,以光學應用為宗旨,以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業,為中國客戶提供*分析測試儀器產品,促進*光學技術產品在中國的應用和相關技術水平提升。
21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術*地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發展和技術提升,成為前沿科學和*制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段,因此“光學”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術。
輔光精密儀器公司就是這樣一個以光學為特色的進口儀器和實驗室設備公司,擁有中國較為齊全的進口精密(光學)儀器種類,龐大而可靠的國外生產商群體,和快捷高效的貿易體系,是用戶信賴的進口分析測試技術儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務商。
公司價值
經驗豐富的激光和光學技術工程師幫助用戶出具方案,確認適合應用的精密光學儀器和科學儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進口體驗。
以豐富的進口操作經驗和電子商務管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進口和購置服務!

*的經營特色

孚光精儀專注于提供歐洲,北美和日本等光學技術*地區原產的基于光學、光譜和激光技術的精密儀器和設備。公司多數員工來自物理,半導體和生物光子學專業,具有扎實的專業知識和豐富的應用經驗。

齊全的光學種類
涵蓋了所有光學和激光技術應用領域和相關儀器
      熒光光學成像儀器 (包括FRET系統,TIRFM顯微鏡系統, 鈣成像顯微鏡系統,熒光壽命成像系統,生物發光和熒光發光成像系統等生物光子學儀器)
      分子生物學光學儀器( 包括凝聚成像,生物發光和熒光發光成像系統等)
      醫用光學儀器(內窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)
      光譜分析測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)
      激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術的粒度和濃度測試儀器)
      光學成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)
      光譜成像系統 (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)
      燃燒和流體力學光學診斷技術和儀器 (基于激光和成像技術,融合光譜分析技術組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)
      無損光學檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學內窺等儀器)
      AFM, SEM,SPM等特種光學顯微鏡
      通用實驗室儀器和設備(包含所有涉及光學技術的實驗儀器)
服務和應用領域
       生物光子學
       生命科學
        醫學成像
        制藥
        食品工程
        化學和化工
        實驗室儀器和實驗室建設
       流體力學
       工程熱物理
       燃燒診斷分析
       發動機研發
       航空航天
       地球物理科學
       地質和石油勘探
        半導體和微電子
        *制造
        新能源
        材料科學
        儀器科學與技術
         -------
客戶群體
       高等院校
       *系統研究院所
       中國國有企業及其研究院所
       *
       外資企業
高效的服務體系
總部位于上海,在上海自貿區和天津自貿區具有倉庫,在香港設立貿易公司,擁有遍布全國的代理商,供應商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器*國家和地區。

公司受益于香港便捷的貿易條件以及上海自貿區和天津自貿區的高效進口程序,為客戶提供高效技術儀器進口服務,為制造商提供高效出口服務。

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半自動晶圓鍵合機SB6/8e采用SUSSMicroTec晶圓鍵合工藝,處理鍵合200mm以下各種形狀和類型的襯底和晶圓
半自動晶圓鍵合機 產品詳情

半自動晶圓鍵合機SB6/8e采用SUSS MicroTec晶圓鍵合工藝,處理鍵合200mm以下各種形狀和類型的襯底和晶圓。適合鍵合類型包括臨時晶圓鍵合,膠黏鍵合,陽極鍵合,共晶鍵合,熱鍵合,玻璃漿料鍵合等。應用領域包括MEMS、LED 中的封裝及結構塑造、封裝、2.5D和3D集成。
半自動晶圓鍵合機在鍵合室溫度、鍵合力和空氣壓力的配置上有廣闊的自由度,這大大增加了應用的選擇范圍。此外,還能調整工藝以適應不斷變化的工藝條件。與 SUSS 鍵合對準器套裝組合后,SB6/8e 還能進行高精度預鍵合對準。

為降低薄晶圓處理的風險,晶圓在減薄之前應預先置于晶圓載體上。 這種鍵合僅用于接下來的加工步驟 - 完成晶圓加工后會解除鍵合。
臨時鍵合的必要步驟
涂覆剝離層(涂層 或 等離子體活化)
涂覆粘材
鍵合
熱固化或紫外線固化
半自動晶圓鍵合機規格參數
鍵合力可達 20 kN

溫度可達 550°C
精確的溫度控制 (< 1 %) 和高度的均勻性 (± 2 %)
對所有鍵合參數工藝方案(工藝指導)的強大控制
快速加熱和主動冷卻,以減少通行時間
適合鍵合類型

  • 臨時晶圓鍵合
  • 膠黏鍵合
  • 陽極鍵合
  • 共晶鍵合
  • 熱鍵合
  • 玻璃漿料鍵合
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