移相點衍射干涉儀用于表面形狀和透射波前質量的超高精度測量。
移相點衍射干涉儀檢測表面或波前的圖形。數字是指從參考（即亞波長孔徑衍射產生的球面波陣面）計算測量形式。
性能指標
峰谷精度：±0.6 nm（λ/1000）
峰谷分辨率：0.05 nm（λ/12000）
波前RMS重復性：<0.23 nm（λ/2800）
簡單RMS重復性：<0.06 nm（λ/10500）
激光類型和波長：穩定的He-Ne，632.8 nm
數值孔徑NA:0.55（f#0.91）
數據采集：相移干涉測量法（PSI）
移相點衍射干涉儀檢測表面或波前的圖形。數字是指從參考（即亞波長孔徑衍射產生的球面波陣面）計算測量形式。
性能指標
峰谷精度：±0.6 nm（λ/1000）
峰谷分辨率：0.05 nm（λ/12000）
波前RMS重復性：<0.23 nm（λ/2800）
簡單RMS重復性：<0.06 nm（λ/10500）
激光類型和波長：穩定的He-Ne，632.8 nm
數值孔徑NA:0.55（f#0.91）
數據采集：相移干涉測量法（PSI）
