高精度六足位移臺是六軸定位臺hexapod,具有穩定的6DOF系統，旨在以高精度和1.5µrad的分辨率在空間中定位,適合高精度六自由度定位應用。
高精度六足位移臺具有高分辨率執行器和高精度球形接頭的配置和集成使KUBAN六足能夠實現高性能的分辨率和可重復性，有效載荷高達500公斤。
高精度六足位移臺特色
高度600mm
負載高達500kg
分辨率+/-2.5urad
編碼器
高精度六足位移臺典型應用
儀器科學與技術
航空航天
光學
計量
天文學
半導體等

高精度六足位移臺規格參數
行程范圍Tx,Ty：+/-75mm
行程范圍：Tz： +/-45mm
行程范圍：Rx,Ry:+/-5度
行程范圍：Rz: +/-10度
分辨率Tx,Ty: 0.2um
分辨率Tz: 0.1um
分辨率Rx, Ry: 1.5urad
分辨率Rz: 2urad
重復精度Tx,Ty: +/-0.5um
重復精度Tz: +/-0.25um
重復精度Rx,Ry:+/-2.5urad
重復精度Rz: +/-4urad
速度Tx, Ty: 0.9mm/s
速度：Tz: 0.4mm/s
速度Rx Ry: 0.12度/秒
速度Rz : 0.3度/秒
負載: 500kg
工作溫度：0-50℃
位移平臺： dia450mm
中間通孔：dia 200mm
自身重量：140kg
線纜長度：5m
供電要求：110-240VAC