科研級掃描電鏡采用小型SEM結構設計，適合高校等科研院所SEM圖像采集,放大倍率為20-20000X,可在辦公室使用。
科研級掃描電鏡規格參數
光學系統參數
分辨率：5nm@20KV SE探測器，4nm@30KV SE探測器
放大倍率：10x~200,000x (數字變焦2X, 4X,8X)
加速電壓：0.6kv~30kv
電子槍類型：鎢絲
圖像移動：250um (XY), 360度旋轉
探測器： SE探測器
自動功能：自動電子槍準直，自動聚焦，自動對比度亮度，發射電流等
顯示： 640x480(area 模式）， 960x640, 1024x768, 2048x 1536（檢查模式）， 圖片模式（2048x1536~8192x6144）
圖像分析：Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-ofInterest) & etc.
位移臺參數
XYZ位移范圍：40,40,40mm
tilt傾斜：0-60度
旋轉：360度
類型：手動5軸位移臺 （可選3軸電動位移臺）
選配真空系統
高真空模式：10^-5 Torr
可選配器件：EDS, BSE, TSEM, 3D reconstruction S/W等
科研級掃描電鏡規格參數
光學系統參數
分辨率：5nm@20KV SE探測器，4nm@30KV SE探測器
放大倍率：10x~200,000x (數字變焦2X, 4X,8X)
加速電壓：0.6kv~30kv
電子槍類型：鎢絲
圖像移動：250um (XY), 360度旋轉
探測器： SE探測器
自動功能：自動電子槍準直，自動聚焦，自動對比度亮度，發射電流等
顯示： 640x480(area 模式）， 960x640, 1024x768, 2048x 1536（檢查模式）， 圖片模式（2048x1536~8192x6144）
圖像分析：Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-ofInterest) & etc.
位移臺參數
XYZ位移范圍：40,40,40mm
tilt傾斜：0-60度
旋轉：360度
類型：手動5軸位移臺 （可選3軸電動位移臺）
選配真空系統
高真空模式：10^-5 Torr
可選配器件：EDS, BSE, TSEM, 3D reconstruction S/W等
