Xslicer SMX-6010是一款堅(jiān)直照射型x射線檢查設(shè)備，配備了島津生產(chǎn)的微焦點(diǎn)x射線發(fā)生器和高分辦率平板探測(cè)器。通過(guò)高清晰度和寬動(dòng)態(tài)范圍圖像，可以觀察到細(xì)微的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和缺陷。此外，可以簡(jiǎn)單快速地進(jìn)行透視/CT模式切換，根據(jù)工作要求實(shí)施多種觀察。Xslicer SMX-6010所覆蓋的檢查從體積不斷縮小的電子元件到密度日益提高的多層實(shí)裝基板。
傾斜CT拍攝的原理與特點(diǎn)
?可高倍放大拍攝板狀樣品
■ 傾斜CT
傾斜CT拍攝大型實(shí)裝板等時(shí)
因樣品在XY載物臺(tái)上，所以可移近X射線發(fā)生裝置，進(jìn)行高倍放大拍攝。
■ 直線CT
直線CT拍攝大型基板等時(shí)
如果為獲得高放大倍率而將樣品靠近X射線發(fā)生裝置側(cè)，CT拍攝中樣品會(huì)與X射線互相干擾，從而無(wú)法進(jìn)行高倍放大攝影。
?觀察事例
如果是基板上的樣品，則不同于受樣品寬度影響的直線CT，傾斜CT可進(jìn)行高放大倍率攝影。
系統(tǒng)構(gòu)成
?方便維護(hù)的本公司自制X射線發(fā)生裝置與搭載各種安全機(jī)構(gòu)的系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)更低成本、更安全的使用.
X射線發(fā)生裝置:搭載了管電壓160kV·1μm分辨率 開(kāi)放管X射線發(fā)生裝置。實(shí)現(xiàn)高壓發(fā)生器的一體化，無(wú)需進(jìn)行高壓電纜維護(hù)。自動(dòng)調(diào)整功能，使更換燈絲更加簡(jiǎn)便。
※1μm分辨率：JIMA Chart測(cè)試
X射線檢出器:搭載300萬(wàn)像素平板檢出器。
5軸載物臺(tái)
除搭載樣品的載物臺(tái)的XYZ軸外，檢出器也會(huì)傾斜、旋轉(zhuǎn)。5軸聯(lián)動(dòng)，支持所有角度的檢查。
X射線防護(hù)箱
屏蔽向設(shè)備外部泄漏的X射線（泄漏到外部的射線低于1μSv/h）。具有正面門扉鎖定機(jī)構(gòu)， X射線照射時(shí)，正面門扉無(wú)法打開(kāi)。同時(shí)，具有聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)，門扉打開(kāi)的狀態(tài)下，5軸載物臺(tái)不移動(dòng)。
碰撞檢測(cè)傳感器
X射線檢出器的周圍裝有碰撞檢測(cè)傳感器，緊急時(shí)（樣品碰撞時(shí)），驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)停止工作。
配套
僅在AC200 V±10 % 1.5 kVA（接地電阻100Ω以下）的條件下可動(dòng)作。無(wú)需供應(yīng)空氣、冷卻水等。
