本產品是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化 的專用設備，烘箱溫度可達450°c
性能特點：
?真空度可達10 Pa
?箱體內氧含量：≤20ppm，提供氧含量檢測接口
?曰本優易控觸摸屏，升降溫斜率控制
?內腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質制作
| 型號MODEL | SXYJ-1 | SXYJ-2 |
| 內箱尺寸（H*W*D) CM Interior dimensions | 20*20*40 | 30*30*60 |
| 溫度范_ Temp.range | RT+20°C ?450°C | |
| 溫度波動度 Temp.constancy | 士 0.5°C | |
| 真空度 | lOpa | |
| 氧含量 | ≤20ppm | |
| 內箱材質 Interior material | SuS316 不銹鋼 Stainless Steel Plate | |
| 外箱材質 Exterior material | 鋼板靜電噴涂表面處理Baked Painting Steel | |
| 保溫材料 Insulatio material | 硅酸錦纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton | |
| 保護裝置 Safety devices | 聲光報警器超溫保護器Audible and visual alarm，Over Temp | |
| 功率（kva) | 9.0 | 12.0 |
| 電源 | AC380V±10%3φ 50HZ | |
*歡迎訂制不同規格尺寸的非標準烘箱
