機器人研拋一體機
基于工業機器人的小工具加工機床，利用小工具在元件表面高速旋動，實現對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
利用自主研發的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過程中材料去除函數穩定可控，從而實現超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實現光學元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。
應用
超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實現光學元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。
特點
1、基于工業機器人專用控制系統，實現高精度表面成型。
2、基于力控傳感器的柔性拋光頭設計，精確控制加工過程去除函數。
3、根據加工要求，開放式全鏈路加工工藝軟件開發。
4、根據客戶要求定制開發
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優勢
1、基于工業機器人專用控制系統，實現高精度表面成型。
2、基于力控傳感器的柔性拋光頭設計，精確控制加工過程去除函數。
3、根據加工要求，開放式全鏈路加工工藝軟件開發。
4、根據客戶要求定制開發主要技術指標
項目 參數指標 可加工元件材料 熔石英、K9、微晶等光學元件；合金鋁等金屬元件 可加工元件尺寸 ≥φ1000mm
拋光工具轉速 50-800RPM 力傳感器量程 Fx/Fy：100N; Fz：200N 力傳感器精度 非線性和滯后優于0.5%，串擾優于2% 力傳感器分辨率 Fx/Fy：0.09N; Fz：0.33N 工具軸運動范圍 1：±180°
2：-90°至+150°
3：-180°至+75°
4：-400°至+400°
5：-125°至+120°
6：-400°至+400°工具軸運動速度 1-6軸均為175°/s 重復定位精度 0.06mm 面積需求 3.5m×3.5m×3m 溫度要求 22±0.5℃ 濕度要求 40%-80% RH
