微型熱式質(zhì)量流量計(jì)是一種基于熱導(dǎo)原理設(shè)計(jì)的流量計(jì)，主要用于測(cè)量氣體或液體的質(zhì)量流量。其工作原理是通過(guò)加熱流體并監(jiān)測(cè)加熱元件與流體之間的熱交換情況，從而計(jì)算流體的流量。
微型熱式質(zhì)量流量計(jì)的具體工作原理如下：
加熱元件：流量計(jì)內(nèi)部裝有加熱元件，通常是一個(gè)溫度傳感器或加熱器。當(dāng)流體通過(guò)流量計(jì)時(shí)，加熱元件會(huì)將一定的熱量傳遞給流體。
熱交換：流體的流動(dòng)會(huì)影響加熱元件周圍的溫度變化。流量較大的流體會(huì)帶走更多的熱量，導(dǎo)致傳感器的溫度變化較大；流量較小的流體則帶走較少的熱量，溫度變化較小。
傳感器測(cè)量：傳感器會(huì)監(jiān)測(cè)流體流過(guò)時(shí)的溫度差異，并將這些變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。這些信號(hào)通過(guò)電路處理后，可以計(jì)算出流量。
質(zhì)量流量計(jì)算：與體積流量不同，熱式質(zhì)量流量計(jì)通過(guò)熱量損失與流體的質(zhì)量密切相關(guān)，因此能夠直接測(cè)量質(zhì)量流量，而不受流體密度變化的影響。
微型熱式質(zhì)量流量計(jì)通常用于小型設(shè)備或精密儀器中，適用于測(cè)量低流量、低壓力的氣體或液體流量。其優(yōu)點(diǎn)包括快速響應(yīng)、高精度、無(wú)需外部壓力或溫度補(bǔ)償、安裝簡(jiǎn)單等。因此，廣泛應(yīng)用于氣體流量監(jiān)測(cè)、氣體分析儀、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等領(lǐng)域。
