日本HORIBA S600(≤50SLM)(≤200SLM)氣體流量控制器
應用:
1.真空鍍膜,LOW-E玻璃
2.薄膜沉積系統
3.燃料電池系統
4.PV
5.生物制藥反應器
6.凈化空氣
7.過程分析,分析流量測試
8.工業市場
產品特點:
1.數字通訊；PROFIBUS model RS-485 model
2.小流量10SCCM~大流量200SLM
3.橡膠密封，金屬密封
4.長期穩定性;零點長期穩定性 穩定流量控制性
5.高精度；±1%S.P.（Set point Accuracy）
6.快速響應；1.5sec以下(Typical 1.0sec)
Digital Mass Flow Controller S600是采用數字信號通信，能夠準確控制氣體的質量流量裝置，不收環境溫度，供給氣體壓力變化的影響，按照電氣信號給定的設定流量值自動調控。由于控制氣體的質量流量，不受環境溫度，壓力等的外界影響，可以實現準確且穩定的流量測量，控制。
S600系列橡膠密封/金屬密封 | S600橡膠密封 | ||||||||
產品型號 | PROFIBUS(橡膠密封）：BR226 PROFIBUS(金屬密封）：BM226 RS485（橡膠密封）：BR222 RS485（金屬密封）：BM222
| PROFIBUS(橡膠密封）：CR226
RS485（橡膠密封）：CR222 | |||||||
滿量程流量 | 10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5SLM | 10/20/30SLM | 50SLM | 100SLM | 150SLM | 200SLM | |||
閥類型 | 常閉 | 常閉 | |||||||
閥驅動 | 電磁調節閥 | 電磁調節閥 | |||||||
流量控制范圍 | 2-99%F.S. | 2-99%F.S. | |||||||
響應時間 | ≤1.5SEC（Typical 1SEC） | ≤1.5SEC（Typical 1SEC） | |||||||
流量精度 | ±1.0%S,P（Flow rate>30%F.S.） ±0.3%F.S.（Flow rate≤30%F.S.）
| ±1.0%S,P（Flow rate>30%F.S.） ±0.3%F.S.（Flow rate≤30%F.S.）
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線性 | ±0.5%F.S. | ±0.5%F.S. | |||||||
重復性 | ±0.2%F.S. | ±0.2%F.S. | |||||||
工作壓差 | 50-300KPA(D) | 100-300KPA(D) | 200-300KPA(D) | 100-300KPA(D) | 150-300KPA(D) | 200-300KPA(D) | |||
工作壓力 | 450KPA(G) | 300KPA(G) | |||||||
耐壓 | 1MPA(G) | 1MPA(G) | |||||||
通訊 | PROFIBUS或RS485（STEC協議） | PROFIBUS或RS485（STEC協議） | |||||||
電源電壓 | +24VDC | +24VDC | |||||||
功耗 | 7.5VA | 7.5VA | |||||||
工作環境溫度 | 5-45℃（推薦溫度范圍：15-35℃） | 5-45℃（推薦溫度范圍：15-35℃） | |||||||
漏率 | 橡膠密封：1×10-10pa.m3/s（He） 金屬密封：1×11-10pa.m3/s（He） | 橡膠密封：1×10-10pa.m3/s（He）
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接觸氣體材料 | 橡膠密封：SUS316L、PTFE、磁性不銹鋼，氟橡膠 金屬密封：SUS316L、PTFE、磁性不銹鋼 | 橡膠密封：SUS316L、PTFE、磁性不銹鋼，氟橡膠
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標準接頭尺寸 | 1/4inch SWL：127mm/1/4inch VCR:124mm | 3/84inch SWL：181mm/1/2inch VCR:180mm | |||||||
安裝角度 | 任意 | 任意 | |||||||
