一、產品介紹：
本公司為專業制造企業，所生產的烘箱取得。HMDS適用行業-硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

HMDS預處理系統的必要性：
在半導體生產工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節，涂膠質量直接影響到光刻的質量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。

HMDS 預處理真空系統通過對箱體內預處理過程的真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液等程式過程，參數控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。 
二、產品特點：

1.控制界面：采用日本三菱 PLC+7寸觸摸屏控制系統，程式化運行，溫度系統，真空系統， 充氮系統，HMDS 注液系統。

2.控制模塊：控制模塊是本系統的核心模塊，它的作用是控制各個模塊的動作和時序，完成整個工藝過程。

3.內膽材質：整個系統采用優質級316L不銹鋼材料制作，無發塵材料，適用百級光刻間凈化環境。

4.密封裝置：密封條為高溫硅膠制作，可耐溫不變形，門與箱體連接密封，加強密封效果。

5.加熱裝置：加熱器采用SUS304#被覆無塵化SHEATHED HEATER壽命長且無污染，依據使用溫度調整控制,節約能源。

6.加熱方式：采用無觸點SCR固態繼電器控制每段溫區發熱管輸出功率大小，接近恒定溫度時，加熱電流變小，使其恒定溫度。

7.底部結構：萬向移動福馬一體承重腳輪，固定好位置可落下支撐腳，方便移動及固定

8.可視窗：采用鋼化、雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內物品實驗情況。

9. 溫度傳感器 采用日制 PT100 鉑金電阻，精度±0.5%，反應靈敏，耐高溫。

10.真空系統：雙旋片真空泵、真空組件、壓力測量等組成，主要作用是置換氣體和抽走剩余 HMDS 蒸汽。

11.充氮系統：作用是在置換過程中，用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽，從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛，氮氣流量，充入時間可控制。

12.HDMS 注液系統：HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，配置不銹鋼藥液管道，使真空箱密封性能。

13.保護系統：相序保護，漏電保護，過載保護，控制線路，超溫保護，壓力過載保護，急停開關，工作狀態指示燈。

型號規格參數：