EST-L5HR-L主動隔振裝置KURAKA倉敷化工

EST-L5HR-L主動隔振裝置KURAKA倉敷化工

主動隔振裝置LH型，EST-L5HR-L，EST-L5HR-M，EST-L5HR-H，EST-L6HF-L，EST-L6HF-M，EST-L6HF-H，EST-L6HKP-200L，EST-L6HKP-200M，EST-L6HKP-200H，EST-L8HKP-200，AMB，EST-A6，EST-A8，EST-A11，EST-B11，EST-B11W，EST-B14，BST-B14W，EST-B14WLI，EST-B14W2LI

產品介紹

主動隔振裝置LH型

控制方法，優異的隔振、阻尼性能直線電機型可減少空氣消耗并提供出色的隔振性能。

可以控制高達高頻范圍。內置萬向節活塞提供出色的隔振性能。

性能/特點

圓頂萬向節活塞和螺旋彈簧的混合結構。

實現了占地面積小。

適合高重心設備。

主動隔振裝置【直線電機控制】LHKP型

支持半導體制造設備和檢查設備的生產率提高主動隔振臺有兩種流行的類型：直線電機控制型和氣動控制型。

減振線性主動隔振臺追求兩全其美。

性能/特點

它幾乎不消耗空氣。

它還可以與小型壓縮機一起使用。

使用高推力直線電機作為執行器。

LH型具有優異的隔振性能，現在可用于減振目的。

配備MFF（運動前饋控制）。

通過預先輸入平臺運動信息，可以提高減振性能。

主動隔振裝置[氣動控制]B型

支持高負載并提供高減振性能主動控制提供出色的減振性能。

通過安裝機制實現了較小的占地面積。

性能/特點

高負載用、振動抑制型

通過在多級結構中布置垂直空氣彈簧，實現了較小的占地面積。

此外，通過盡可能減小空氣彈簧的氣室，提高了減振性能。