設備簡介
高性能無氧烘箱能夠在氧氣濃度低至100ppm的氣氛中，在250℃的溫度下進行熱處理。這使得該系列非常適合晶圓塑封干燥，銀膠固化，晶圓光刻的軟烤和硬烤等，以及各類抗氧化熱處理。無氧烘箱采用專有的腔室結構和密封技術，具有出色的氣密性和溫度均勻性，還確保了更高的穩定性和重現性。同時采用由冷卻水循環的外部冷卻機構，可以在不影響爐內氣氛的情況下進行快速冷卻，從而縮短處理時間。適用于固化半導體晶圓干燥，IC封裝（銅基板，銀膠，硅膠，環氧樹脂），玻璃基板烘烤等。
產品特點
1、升溫速率可控，設定工藝曲線，一鍵運行；輔助降溫縮短降溫時間，提高生產效率；可達到低氧環境，固化效果更好。
2、箱內采用單向水平運風，兩側風道內強壓送風，風道兩側采用高密度沖孔風板，精確控制導流板角度，確保箱內溫度均勻性。
3、高精度溫度控制器，PID調節，控制精度0.1℃，可程式觸摸屏控制器，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。
4、減壓閥+雙流量計節氮系統，無氧、低氧環境下節省氮氣消耗量。
5、采用大功率耐高溫長軸馬達，大口徑不銹鋼渦輪扇葉，可在高溫環境下長期穩定工作。
6、烘箱內部為不銹鋼結構，箱內持續充氮，使烘箱工作室內處于低氧、潔凈狀態。
7、應用功能強大，老化、退火、測試、固化、干燥、溶劑、涂料和油漆固化、壓力緩解等。
選配組件
1、程序控溫：可配置程序型溫度控制器，實現多組程序控溫。
2、測溫功能：多點測溫查看及記錄功能。
3、風門調節：可加裝風量調節裝置，亦可實現風門開關程序控制。
4、溫度記錄儀：可配置多通道溫度記錄儀，打印機或RS485接口，用于連接打印機或PC設備，監控記錄溫度變化狀況。
5、快速降溫系統：實現快速升降溫的功能。
規格參數
| 型號 | YH-OXY-2SH | 工作穩定溫度范圍 | 常溫~250℃ |
| 使用電壓 | 三相五線380V，50Hz | 控溫精度 | ±0.1℃ |
| 加熱功率 | 4.5KW*2 | 溫度均勻性 | ±2.5%℃ |
| 風機功率 | 370W*2 | 溫度穩定度 | ±0.5℃ |
| 極限含氧量 | ＜100PPM | 降溫方式 | 水冷降溫 |
| 尺寸 | |||
| 工作尺寸 | H（600*2）mm*W720mm*D600mm | ||
| 外觀尺寸 | H1805mm*W1340mm*D865mm | ||
| 箱體 | |||
| 箱體外壁材料 | SS41#冷軋鋼板 | ||
| 箱體內膽材料 | 304#不銹鋼板 | ||
| 保溫材料 | 100K硅酸鋁棉，材料不可燃，隔熱性強； | ||
| 容積 | 260L*2 | ||
| 外箱涂裝材料 | 外表面整體噴粉，烤漆處理，顏色為計算機白，表面不脫粉，不掉漆； | ||
| 移動腳輪 | 箱體底部安裝4個帶剎車萬向輪，方便烤箱移動和固定； | ||
| 工作室 | |||
| 工作室數量 | 2 每個工作室可分2層，每個工作室可單獨設置調節溫度。 | ||
| 內部配置 | 配置4個不銹鋼鋼支層架，層架上包裹不銹鋼網孔板,層架間距可調節。 | ||
| 加熱速率 | 空載情況下從常溫升溫至175℃≤30分鐘，恒溫時間可控。 | ||
| 降溫速率 | 175℃降溫至80℃≤40分鐘 | ||
| 選配 | 含氧檢測儀，真空泵，HEPA高效過濾 | ||
