CKD氣動閥/回吸閥一體型AMDS
回吸閥AMS，氣動閥/回吸閥一體型AMDS，先導式調節器PMP，手動調節器PYM，PMM，液位傳感器KML，電動流量調節閥MNV，手動流量調節閥FMD00，LYX
CKD氣動閥/回吸閥一體型AMDS
CKD氣動閥/回吸閥一體型AMDS
回吸閥AMS，氣動閥/回吸閥一體型AMDS，先導式調節器PMP，手動調節器PYM，PMM，液位傳感器KML，電動流量調節閥MNV，手動流量調節閥FMD00，LYX
產品介紹
回吸閥AMS
結構緊湊，排液可靠，反吸控制精度高。它可用于防止晶圓化學排放不良等問題。
可根據流體粘度進行優化的定制設計。
產品特點
[防止液體滴落]
與慢速型速度控制器組合可調節至最佳液體排放。
【工作原理】
當流體流動時，空氣壓力作用于操作口，使隔膜下降。
當流體停止時，來自操作口的空氣被釋放到大氣中，彈簧的力使隔膜上升，增加吸入閥內的容積并防止流體滴落。
氣動閥/回吸閥一體型AMDS
結構緊湊，排液可靠，反吸控制精度高。它可用于防止晶圓化學排放不良等問題。
可根據流體粘度進行優化的定制設計。
集成氣動閥減少了管道工作并使其更加緊湊。
先導式調節器PMP
這是一種通過先導空氣控制來穩定化學溶液/純水供給部分的壓力波動的調節器。與電動氣動調節器結合，還可以通過遠程控制改變設定壓力。
手動調節器PYM·PMM
用于純水等壓力控制的手動調節器。
產品特點
[壓力控制]
手動式，強調易用性。
液位傳感器KML
高精度檢測純水、酸、堿、溶劑等各種流體的液位，并以電信號輸出。
產品特點
[可遠程控制]（KML703系列）
傳感器部分和顯示部分是分離的，因此操作顯示部分可以安裝在遠離液罐的位置。
內置通訊功能（RS485）允許從主機進行操作。
【耐環境壓力波動】（KML703系列）
壓差法檢測環境壓力和水位之間的壓差，因此通過將檢測管和環境檢測管設置在相同的壓力環境中，可以進行以下檢測：能夠抵抗環境壓力波動。
[提高耐用性]（KML502、MKML2、MXKML2）
通過改變隔膜材料，提高了耐用性。
[提高便利性] (MKML2、MXKML2)
通過采用塊結構可以改變站數。
電動流量調節閥MNV
這是電動流量調節閥（針閥）。可通過遠程控制改變設定流量。
手動流量調節閥FMD00
這是手動流量調節閥（針閥）。
LYX
可以調節微小流量的手動流量調節閥。
