P2000i系列液體質量流量控制器被設計用于要求對小流量液體進行快速、精確控制的領域。其簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。的熱式測量系統提供精確的測量，同時液體溫度上升小于5度。高級的控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可提供對小流量液體 進行 快速、穩定的控制。 P2000i系列同時也包括有一個液體質量流量計，用于那些不需要進行流量控制的場合。
D2000i系列液體質量流量控制器被設計用于要求對液體快速、精確控制的半導體制造工藝。數字控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可讓響應時間小于1秒。潔凈空間內的裝配工藝和全金屬密封結構確保（高純度和泄漏完整性）。的層流旁路和傳感器部件提供精確的測量，同時液體溫度僅上升5度，此外，D2000i的簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。
 
設計特點
壓電式控制閥
金屬密封結構
響應時間快
設計緊湊
316L/316SS不銹鋼結構
高精度達± 1％
 
液體流量計和控制器技術參數
流量范圍：P2000i系列和D2000i系列液體流量控制器是以異丙醇（IPA）來標定的，
          在測量其它液體介質時需要乘以一個校正系數，具體請參考表一
響應時間：P2000i系列 ： 2s（ 設定點的2％之內 ）
D2000i系列：＜1s（ 流量的5％之內 ）
精度和線性：± 1％滿量程（P2000i系列）；±1％讀數（D2000i系列）
重復性 ：P2000i系列：＜±0.2％滿量程（任意連續溫度下）
                    D2000i系列：＜±0.2％讀數
量程比：P2000i系列：50：1（2％-100％滿量程）
                  D2000i系列：20：1（5％-100％滿量程）
操作溫度 ：40℃（104℉）
操作壓力：125PSIG
溫度系數 ：＜ 0.1％/℃
輸入/流量輸出信號 ： 0-5VDC/0-5VDC（輸出流量信號時：需最小2KΩ電阻）
供電電源：﹢ 15VDC±10％（電流消耗＜200mADC時）
泄露率：1х10 -9 atm.cc/s He
預熱時間：10分鐘（P2000i系列）；20分鐘（D2000i系列）
電氣連接：9針D型
入口 /出口過程連接：1/8″Male VCR或1/8″Swagelok
控制閥：壓電式常開
內置容積：＜ 0.71ml（P2000i系列）；＜1ml （D2000i系列）
重 量：≤ 0.68Kg
 
結構材質
主體：316LSS
傳感器組件：316LSS
閥構成部件：316LSS（D2000i系列）；302SS和316LSS（P2000i系列）
“ O”型環：316LSS