電子行業(yè)超純水設(shè)備適用于集成電路芯片、單晶硅、顯像管、液晶顯示器、計(jì)算機(jī)硬盤、線路板等工藝所需的純水和超純水制備。在嚴(yán)格執(zhí)行ISO-9001國際質(zhì)量體系標(biāo)準(zhǔn)的前提下，采用世界上進(jìn)的反滲透膜元件。壓力容器和高壓泵、配以合理而又高效的前處理設(shè)備及后處理設(shè)備，使產(chǎn)品出水符合各類電子行業(yè)生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)的超純水。控制系統(tǒng)選用PLC程序控制，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)起停、加藥及沖洗，自動(dòng)監(jiān)測(cè)各種運(yùn)行參數(shù)，并可實(shí)現(xiàn)運(yùn)行參數(shù)的儲(chǔ)存及打印廣泛適用于： 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路 LCD、EL、PDP、TFT、玻殼、顯像管 超純材料和超純化學(xué)試劑光導(dǎo)纖維、光盤等。

電子行業(yè)超純水設(shè)備典型工藝流程：

1.預(yù)處理系統(tǒng)－反滲透系統(tǒng)－中間水箱－純水泵－粗混合床－精混合床－紫外線殺菌器－精密過濾器－用水對(duì)象（≥15MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)

2.預(yù)處理系統(tǒng)－反滲透系統(tǒng)－中間水箱－粗混合床－精混合床－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－精密過濾器－用水對(duì)象 （≥18MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝) 

3.預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對(duì)象（≥18MΩ.CM）(工藝) 

4.預(yù)處理－一級(jí)反滲透－加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）－中間水箱－第二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）－純水箱－純水泵－EDI裝置－紫外線殺菌器－精密過濾器（0.2或0.5μm）－用水對(duì)象（≥17MΩ.CM） (工藝) 

5.預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對(duì)象（≥15MΩ.CM）(工藝)