原理：通過超濾膜將溶液中的溶劑和小分子物質透過膜，而大分子物質、膠體等被截留，從而使大分子物質在膜的一側得到濃縮.
理：超濾膜本身不能直接脫鹽，但可以作為預處理手段，去除水中的懸浮物、膠體、大分子有機物等雜質，為后續的脫鹽工藝如反滲透、納濾等提供更優質的進水，提高脫鹽效率和降低脫鹽設備的負荷及污染風險.
設備優點
高脫鹽率和凈化效果：反滲透膜具有很高的脫鹽能力，單級反滲透系統脫鹽率一般可穩定在 97% 以上，雙級反滲透甚至可達 99% 以上，能有效去除水中的礦物質、鹽分、有機物和微生物，確保水質的高純度，滿足半導體芯片制造對超純水的嚴格要求 。
穩定水質：半導體制造過程中，水質的穩定性至關重要。反滲透膜技術能夠減緩原水水質波動對產水的影響，保證生產中水質的持續穩定，這對于芯片的質量控制和成品率的提高非常重要 。
去除微粒和污染物：半導體制造業對水中的顆粒物和雜質有極低的容忍度。反滲透膜能夠有效攔截水中的微粒、膠體以及病毒、細菌等微生物，確保超純水無污染，減少芯片制造過程中的瑕疵和缺陷 。
經濟性：雖然反滲透系統的初期投資較高，但其運行成本相對較低，特別是在能源消耗上。與傳統的蒸餾等方法相比，反滲透膜技術更加節能，有助于降低長期運營成本 。
自動化與連續性：反滲透系統易于實現自動化控制，能夠連續穩定地供應超純水，適應半導體制造過程的連續性和高效率需求。
環境友好：反滲透技術減少了化學藥劑的使用，產生的廢水量相對較少，且易于回收處理，符合半導體行業對環境可持續性的追求 。
