OA-ICOSTM工業(yè)痕量氣體分析儀旨在以優(yōu)異的靈敏度、準(zhǔn)確度、精密度和響應(yīng)時(shí)間，滿足客戶的苛刻要求。它簡(jiǎn)單易用，可在幾分鐘內(nèi)啟動(dòng)，無需現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，并且只需極少的預(yù)防性維護(hù)。
該系列氣體分析儀非常適用于：
1. 空氣分子污染(AMC)監(jiān)測(cè)：用于確保半導(dǎo)體晶圓廠(FAB)工藝和人員的健康安全
2. 前開式晶圓傳送盒(FOUP)和氣相沉積室監(jiān)測(cè)
與傳統(tǒng)的光腔衰蕩光譜技術(shù)相比，離軸1COS技術(shù)具有諸多優(yōu)勢(shì)，例如：更加可靠耐用、更短測(cè)量時(shí)間、使用的光腔和反射鏡可現(xiàn)場(chǎng)維修。
所有ABB儀器均內(nèi)置計(jì)算機(jī)(采用Liux操作系統(tǒng))，該計(jì)算機(jī)會(huì)將每次分析的結(jié)果和相關(guān)指標(biāo)存儲(chǔ)在內(nèi)部硬盤上，從而實(shí)現(xiàn)無需人員值守的長(zhǎng)期運(yùn)行。相關(guān)數(shù)據(jù)則可以通過模擬、數(shù)字(RS232)和ModbusTM1的輸出方式源源不斷地導(dǎo)出。此外，這系列儀器還可以通過互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程控制，用戶無需身處現(xiàn)場(chǎng)，就可以控制儀器、從儀器中獲取數(shù)據(jù)，以及對(duì)儀器進(jìn)行診斷。該系列儀器還可以保存所測(cè)氣體的完整光譜，用于故障排除，甚至在過程發(fā)生意外變動(dòng)后，遠(yuǎn)程優(yōu)化分析儀。
二、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1. 支持HF、HCI、NH3的單氣體或多氣體配置
2. 提供高精度、準(zhǔn)確的H,O測(cè)量結(jié)果
3. 提供0-5V和4-20mA模擬輸出（標(biāo)配），以及Modbus TCP（選購）
4. 優(yōu)化數(shù)據(jù)處理，在測(cè)量亞ppb級(jí)別濃度時(shí)，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異性能
5. 提供觸控?cái)?shù)字顯示屏，顯示氣體濃度和分析儀的狀態(tài)
6. 提供主要密碼保護(hù)，確保分析儀和數(shù)據(jù)安全
7. 經(jīng)過優(yōu)化的零氣性能，以可靠地確認(rèn)過程事件
8. 提供可定制的校準(zhǔn)套件和性能認(rèn)證文件包
9. 堅(jiān)固耐用；所需的維護(hù)工作很少并且花費(fèi)較低
10. 可輕松更換長(zhǎng)期受到污染的部件（過濾器）和正常老化部件（泵隔膜）
11. 服務(wù)工程師可現(xiàn)場(chǎng)診斷并更換其他大多數(shù)部件
12. 鏡面清潔可現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行，無需在工廠費(fèi)時(shí)維修
三、技術(shù)參數(shù)
GLA231-EAA
| 項(xiàng)目（氣體） | NH3 | H2O |
| 精度(1σ) | <1ppb(1秒) <0.3ppb(10秒) <0.1ppb(100秒) | <50ppm(1秒) <20ppm(10秒) <10ppm(100秒) |
| 檢測(cè)限(LOD) | 0.3ppb(100秒) | 50ppm(100秒) |
| 準(zhǔn)確性* | ±0.3ppb，或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn) | >7,000ppm =1%FSD |
| 不同分析儀的結(jié)果差異(相對(duì)于平均值，10秒) | ±0.4ppb，或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn) | ≤1000ppm =±10% |
| 線性測(cè)量范圍 | 高達(dá)10,000ppb | 高達(dá)30,000ppm |
| 樣品流量(lpm) | 1.4-2.4 | |
| 響應(yīng)時(shí)間（T90，T10） | 10秒 |
GLA231-HFHC HF
| 項(xiàng)目（氣體） | HCL** | HF | H2O |
| 精度(1σ) | <0.3ppb(1秒) <0.1ppb(10秒) <0.035ppb(100秒) | <0.1ppb(1秒) <0.05ppb(10秒) <0.025ppb(100秒) | <25ppm(1秒) <10ppm(10秒) <5ppm(100秒) |
| 檢測(cè)限(LOD) | 0.1ppb(100秒) | 0.075ppm(100秒) | 25ppm(100秒) |
| 準(zhǔn)確性* | ±0.15ppb，或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn) | ±0.1ppb，或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn) | >7,000ppm =1%FSD |
| 不同分析儀的結(jié)果差異(相對(duì)于平均值，10秒) | ±0.2ppb，或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn) | ±0.2ppb，或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn) | ≤1000ppm =±10% |
| 線性測(cè)量范圍 | 高達(dá)2,000ppb | 高達(dá)2,000ppb | 高達(dá)30,000ppm |
| 樣品流量(lpm) | 1.1-1.9 | ||
| 響應(yīng)時(shí)間（T90，T10） | 25秒 | 25秒 |
一般參數(shù)：
測(cè)量速率：0.01-1Hz（用戶可選）
采樣條件：
1. 工作溫度：0°-45°C
2. 環(huán)境濕度：相對(duì)濕度<99%，無凝露
3. 入口壓力：分析儀入口處為0-0.35巴(0-5磅力/平方英寸)
數(shù)據(jù)輸出：RS232、模擬、以太網(wǎng)、USB、ModbusTM:TCP/IP
電源要求：170W（穩(wěn)態(tài)）；配備ACC-DP3H外置泵時(shí)，最大功率為290W
尺寸(高X寬X深)：22×48×61厘米(8.75×19×24英寸)
重量：29公斤(64磅)
標(biāo)志和認(rèn)證：CE、CSA、IEC CB體系
