規格 | 測量面對基面垂直度 | 測量面平面度或垂直度 | 基面平面度或直線度 | |||
精度等級(微米) | ||||||
00 | 0 | 00 | 0 | 00 | 0 | |
Sp400 | 1.6 | 2.6 | 2.4 | 3.9 | 8.0 | 13 |
Sp630 | 2.1 | 3.5 | 3.2 | 5.3 | 10.5 | 18 |
Sp1000 | 3.0 | 5.0 | 4.5 | 7.5 | 15 | 25 |
Sp1600 | 4.4 | 7.4 | 6.6 | 11.1 | 22 | 37 |
Sp2000 | 5.4 | 10.0 | 8.1 | 13.5 | 27 | 45 |