| 型號Model | 單位 Unit | FJ-80 |
| 進氣口法蘭 Flange（In） |
| DN63 ISO-K |
| DN63 CF | ||
| 排氣口法蘭 Flange（Out） | ISO-KF | DN16 |
| 抽速速率 Pumping Speed | l/s | N2：62 |
| He：55 | ||
| H2：34 | ||
| Ar：65 | ||
| 壓縮比 Compression Ratio |
| N2: 109 |
| He: 105 | ||
| H2：104 | ||
| Ar：109 | ||
| 極限壓強 ultimate Pressure | Pa | 3×10-5(ISO-K);5×10-6(CF) |
| 建議啟動壓強recommended fore-vacuum pressure | Pa | ＜50 |
| 前級泵型號forevacuum pump |
| GHD-031B①（標配 standard） |
| 冷卻方式 Cooling type,Standard |
| 風冷 Air |
| 冷卻水流量 Cooling Water Consumption | L/min | >1 |
| 冷卻水溫度 Cooling Water Temperature | ℃ | ≤25 |
| 輸入電壓頻率Input voltage / frequency | V/Hz | 220±20/50 |
| 環境溫度 environment temperature | ℃ | 5-40 |
| 安裝方式 mounting position |
| 垂直 Veritcal |
| 適配電源型號Controller Model |
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| 長×寬×高 L*W*H | mm | 400×300×260 |
| 重量 Weight | kg | 16-21 |
①選配干泵，具體型號咨詢銷售人員dry pump on request
