產品概述:
ES4000是美國矽翔微機電系統有限公司采用的微機電系統（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環境采樣器（如色譜分析儀器等）
ES4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。
ES4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
產品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點穩定度高
- 全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性
- 低功耗、低壓損
- 響應速度快
機械尺寸:
產品特點:
| 性能參數 | FS4003 | FS4008 | 單位 |
| 通 徑 | 3 | 8 | mm |
| 流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
| 量程比 | ≥100:1 | ||
| 精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
| 重復性 | 0.25 | % | |
| 零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
| 輸出飄移 | ±0.12 | %/℃ | |
| 響應時間 | 10（默認，50，100，200，500，1000可設置） | msec | |
| 工作電源 | 8~18Vdc,50mA | ||
| 輸出方式 | 線性，RS232/RS485,模擬電壓0.5~4.5Vdc | ||
| 流量壓損 | 100 | 600 | Pa |
| 工作壓力 | 0.5 | MPa | |
| 工作溫度 | -10 ~ + 55 | ℃ | |
| 存儲溫度 | -20 ~ + 65 | ℃ | |
| 工作濕度 | <95%RH（無結冰、無凝露） | ||
| 機械接口 | BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接頭 | ||
| 校準方式 | 空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa | ||
| 重量 | 57（帶R1/4,BSPT1/4接口） 71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭) | g | |
