產品簡介：

"Regulus系列"是日立的FE-SEM的全新品牌，包括作為SU8010的后續機型開發的"Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個機型，均實現了分辨率和操作性的強化。

電子光學系統進行了化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20％。"Regulus8220/8230/8240"達到0.9nm，"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外，低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節放大，并獲得高質量的圖片。放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。
除此之外，為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化，如信號檢測系統的操作輔助功能，維護輔助功能等。

產品特點

? 搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍

? 跟前代機型相比分辨率大約提高了20%
（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）

? 倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍^*1

? 用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能發揮出來

產品簡介：

"Regulus系列"是日立的FE-SEM的全新品牌，包括作為SU8010的后續機型開發的"Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個機型，均實現了分辨率和操作性的強化。

電子光學系統進行了化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20％。"Regulus8220/8230/8240"達到0.9nm，"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外，低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節放大，并獲得高質量的圖片。放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。
除此之外，為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化，如信號檢測系統的操作輔助功能，維護輔助功能等。

產品特點

? 搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍

? 跟前代機型相比分辨率大約提高了20%
（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）

? 倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍^*1

? 用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能發揮出來

產品簡介：

"Regulus系列"是日立的FE-SEM的全新品牌，包括作為SU8010的后續機型開發的"Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個機型，均實現了分辨率和操作性的強化。

電子光學系統進行了化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20％。"Regulus8220/8230/8240"達到0.9nm，"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外，低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節放大，并獲得高質量的圖片。放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。
除此之外，為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化，如信號檢測系統的操作輔助功能，維護輔助功能等。

產品特點

? 搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍

? 跟前代機型相比分辨率大約提高了20%
（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）

? 倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍^*1

? 用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能發揮出來