產品名稱:紅外氣體傳感器
產品型號:Gasboard-2061
紅外氣體傳感器產品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。
紅外氣體傳感器產品特性
(1)使用NDIR技術,多氣體監測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
(2)響應時間快,高靈敏度
(3)無耗材
(4)模擬/數字通信
(5)模塊化設計,便于集成
紅外氣體傳感器技術參數
檢測原理 NDIR 檢測氣體 WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 量程 1~264ppm(0~200mTorr) 重復性 ±0.5% 線性 ±1%F.S. 檢測限 1ppm