 | 1、X向橫梁：采用精密斜梁技術。 2、Y向導軌：采用的直接加工在工作臺上的整體下燕尾槽定位結構。 3、導軌方式：采用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成的四面環抱式靜壓氣浮導軌。 4、驅動系統：采用本產高性能DC直流伺服電機、柔同步齒形帶傳動裝置，各軸均有限位和電子控制，傳動更快捷、運動性能更佳。 5、Z向主軸：可調節的氣動平衡裝置，提高了Z軸的位精度 6、 控制系統：采用進口的雙計算機三座標專用控制系統 7、 機器系統：采用計算機輔助3D誤差修正技術（CAA），保證系統的長期的穩定性和高精度。 8、 測量軟件：采用功能強大的3D-DMIS測量軟件包，具有完善的測量功能和聯機功能。 |
| 規格 | 測量范圍（㎜） | 外形尺寸（㎜） | 測量精度 | 載 重( Kg) | 整機重量(Kg) | |||||
| X | Y | Z | X | Y | Z | 空間示值誤差 MPE E (μm) | 探測誤差 MPEP(μm) | |||
| CMFH 575 | 500 | 700 | 500 | 1150 | 1320 | 2570 | 2.2 ﹢ 3L ／ 1000 | 2.5 | 500 | 1500 |
| CMFH 8107 | 800 | 1000 | 700 | 1450 | 1900 | 3000 | 2.5 ﹢ 3L ／ 1000 | 2.8 | 1000 | 2400 |
| CMFH8157 | 1500 | 2400 | 1200 | 3000 | ||||||
| CMFH10128 | 1000 | 1200 | 800 | 1650 | 2100 | 3250 | 3.0 ﹢ 3L ／ 1000 | 3.5 | 1200 | 2900 |
| CMFH10158 | 1500 | 2400 | 1350 | 3300 | ||||||
| CMFH10208 | 2000 | 2900 | 1500 | 4200 | ||||||
| CMFH12158 | 1200 | 1500 | 800 | 1850 | 2400 | 3250 | 3.8 ﹢ L ／ 250 | 4.2 | 1400 | 3800 |
| CMFH12208 | 2000 | 2900 | 1600 | 4500 | ||||||
| CMFH101510 | 1000 | 1500 | 1000 | 1650 | 2400 | 3700 | 3.8 ﹢ L ／ 250 | 4.2 | 1350 | 3500 |
| CMFH102010 | 2000 | 1500 | 4300 | |||||||
