產品介紹
AccuFiz干涉儀特別設計為實現樣品表面中高頻率特征測試的高分辨菲索干涉儀，光學系統優化設計，實現了高傳函，低噪聲；同時AccuFiz干涉儀借鑒了4D公司在動態相移干涉技術上的成功經驗，沿用其核心算法，采用動態載波相移技術，可在氣流擾動和振動條件下實現高精度測量，這一技術使得AccuFiz可以解決大部分的動態測量問題。
AccuFiz干涉儀是一款緊湊、輕巧的菲索干涉儀，可以滿足多樣的測量需求。
常規屬性
系統結構：菲索型干涉儀
采集模式：機械相移式，動態載波相移式
工作波段：1550nm（SWIR）穩頻激光器
光 源：光源尺寸連續可調，降低相干噪聲
光束口徑：標準4英寸；其他定制
相機像素：500 x 500 pixels，12bit；>30幀/秒 顯示
變倍：1-10X Smart ZoomTM
外形尺寸：4英寸： 51.4 x 23.8 x 20.3 cm
重量：4英寸：13.6kg
系統性能
RMS重復性：<0.0001 waves RMS*
RMS精密度：0.001 waves RMS*
樣品反射率：1-99%（需衰減）
*采用10個數據RMS值的1σ方差作為結果；每個數據是16次測試的平均
**采用10個數據，每個數據是16次測試的平均；以這10個數據的平均值作為參考值；以每一個數據與參考值的差來計算RMS平均作為結果
