高速顯微光譜測量工作站GP-58C是在科研級明暗場正置金相顯微鏡XJ-58C基礎上加載高速了顯微光譜儀,是高品質和高精度的顯微光譜分析平臺,具有高信噪比,高靈敏度,能夠快速采集紫外—可見—近紅外全譜段的透射、反射光譜。適用于光子晶體研究、納米材料光學性能表征、微加工材料光學性能表征、表面等離子體研究。也可用于薄片試樣的金相、礦相、晶體、硅片、電路基板、FPD等結構分析和研究,以及材料表面特性,如:劃痕、裂紋、噴涂的均勻性等分析研究。總放大倍數(shù):50X-500X
◆主要特點:
1、低雜散技術,高速光譜傳輸技術,實現(xiàn)微妙量級光譜檢測
3、全譜段技術,最寬譜段覆蓋范圍達320—1100nm
4、紫外敏化技術,實現(xiàn)了深紫外光譜探測。空間分辨率:最小5X5um2
5、采用了的無限遠光路設計,提供了的光學系統(tǒng)
6、系統(tǒng)配置了電動調焦載物臺,高清相位模塊、高亮度LED照明
7、采用大視野目鏡和明暗場長距平場物鏡,視場平坦,成像清晰
8、配置了偏光、暗場裝置、可選配微分干涉裝置,拓展了功能
◆典型應用:
1、光子晶體研究、納米材料光學性能表征、微加工材料光學性能表征、表面等離子體研究
2、電子工業(yè)制造業(yè)對硅片、電路基板、FPD、PCB板、芯片檢驗
3、觀察材料表面的某些特性,金屬、礦相內部結構組織
規(guī)格參數(shù):
序號 | 名 稱 | 參數(shù) |
01 | 光學系統(tǒng) | 無限遠光學系統(tǒng),鏡筒透鏡f=200mm |
02 | 觀察鏡筒 | 三目鏡筒(帶有0.3XCCD適配鏡) |
03 | 目 鏡 | 1、超寬視場平場目鏡WF10X/26mm2、WF10X/22mm,帶0.1mm十字分劃板 |
04 | 超長工作距離平場無限遠明/暗場物鏡: | 5X/NA0.20(W.D=14.47mm)、10X/NA0.25(W.D=16.0mm)、20X/NA0.40(W.D=10.5mm)、50X/NA0.55(W.D=5.1mm) |
05 | 物鏡轉換器 | 帶DIC插孔的五孔轉換器 |
06 | 載物臺 | 精密測量平臺,工作臺尺寸:150X150mm 移動范圍50mmX50mm, |
07 | 濾色片 | 濾色片(綠、藍、中性) |
08 | 調焦 | 電動調焦 |
09 | 光源 | 透射照明: LED燈5W,寬電壓AC85V—260V,亮度連續(xù)可調 反射照明:科勒照明鹵素燈12V50W,寬電壓AC85V—260V,亮度連續(xù)可調,帶孔徑光闌和視場光闌 |
10 | 偏光裝置 | 檢偏鏡可360度旋轉。起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
11 | 光譜模塊 | 高速顯微光譜測量工作站 |