技術參數：
| 型號 | Excel661UM | Excel661UC | Excel662UM | Excel662UC | Excel664UM | Excel664UC |
| 測量行程 | 650x650x160mm | 650x650x250mm | 650x650x400mm | |||
| 外形尺寸 | 1311x1604x1608mm | 1311x1604x1788mm | 1311x1604x2088mm | |||
| 重量 | 1530kg | 1550kg | 1550kg | |||
| 承載重量 | 100kg | 100kg | 100kg | |||
| 平臺材質 | 鋼構 | |||||
| 基座材質 | 花崗巖 | |||||
| 傳動方式 | Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z | |||||
| 電控系統 | 伺服系統: CNC, 鼠標, 搖桿 | |||||
| 電源系統 | 93-264 VAC, 47-63 Hz,10 Amp | |||||
| XY 精度 | Uxy=2.5+L/300μm | Uxy=2.8+L/300μm | Uxy=3.2+L/300μm | |||
| Z 精度 | Ux=2.5+L/150μm | Ux=3.0+L/150μm | Ux=3.5+L/150μm | |||
| XY 重現性 | 2.5μm | 2.8μm | 3.2μm | |||
| Z 重現性 | 2.5μm | 3.0μm | 3.5μm | |||
| XY 加速度 | 1000mm/S2 | |||||
| Z 加速度 | 500mm/S2 | |||||
| XY 移動速度 | 500mm/s | |||||
| Z 移動速度 | 150mm/s | |||||
| 光學尺分辨率 | 0.1μm | |||||
| 影像 | 黑白 | 彩色 | 黑白 | 彩色 | 黑白 | 彩色 |
| 光源 | 紅光LED | 白光LED | 紅光LED | 白光LED | 紅光LED | 白光LED |
| 照明系統 | 表面光, 輪廓光,同軸光 | |||||
| 光學系統/放大倍率 | 12x 光學/3x 數字 Zoom / 15x~1200x 放大倍率 | |||||
| 軟件 | InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista) | |||||
| 工作環境 | 20℃(68℉)±2°,30-80%濕度 | |||||
