等離子發光分析終點檢測儀

布賴特光學系統是通過HORIBA Jobin Yvon制造的一個巨大的，直徑為70 mm的偏差糾正凹面光柵而實現的。

等離子發光分析終點檢測儀凹面光柵本身的聚光能力使其具有 比短焦距車爾尼特納型光譜儀更為明亮的一套簡易光學系統架構，并且可以zui小化因為鏡面及其他反射面造成的反射損失。

等離子發光分析終點檢測儀背光式CCD可以達到高量子效率，確保從紫外光到可見光之間的寬波段范圍內獲得穩定的分光鏡使用。高靈敏度的測量在紫外光波段，特別是在那些較少受到干擾影響的波長范圍，使終點監測成為可能。應制程控制的要求，此軟件可以執行多種工序，從等離子體現象分析到測量數據的數據庫創建和生產設備的遠程遙控。測量工序的可編程架構設計使其可以對多重監測和時序處理進行設定。它賦予檢測器不僅可以被用于終點監測，同時也可以被廣泛的用于等離子體環境下的監測。這是一種對于等離子體異常情況進行報警的*設計，也可以通過利用2種波長之間的變換系數來指導終點測量，全回收功能，一旦收集到光譜學的數據后，對制程優化或者終點監測的模擬可以通過應用新的制程設計反復進行。一個用于識別等離子中發光類別的數據庫已經包含在內，光譜學數據可以轉換成一個時距記錄曲線圖，或者可以通過屏幕格式，把操作波形，比對參考數據獲得的相對計算波形和其他信息顯示出來。專為時間記錄圖分析而準備的自動圖形軟件