一、原理：
探針在被測工件上掃描由工件表面輪廓不平而形成上下位移， 使傳感器中磁回路間隙改變導致電感變化，形成微弱訊號。傳感器輸 出的微弱訊號經放大、鑒相后，經過低通濾器及根據高斯濾波器特性 而設計的長波段濾波網絡，輸出模擬訊號分成二路，R參數；輪廓參 數分別由數據采樣卡內的16位A/D轉換處理，形成數字信息，經PC 運算處理顯示。
二、評價項目:
Rk, Wp, Wv
二、特點：
♦的高精度采集控制系統，有效精度達0.001 ^im
♦關鍵件采用特殊去應力合金材料及特殊的去應力處理工藝，精度保
持長久
♦高精度直線導軌 ♦的高精度采集控制系統 ♦模塊化設計使用戶維護成本降至*低 ♦ PC配置靈活，可據根用戶要求配置
♦具有針對性、*性的系統保證測量的實時性及系統的穩定性 四、技術參數：
♦*大測量長度：25mm ♦直線度測量精度：0.4um
♦濾波器：高斯(Gaussian)濾波器（IS011562:1996)，RC 濾
波器
♦截止波長：0.25，0.8，2.5
♦測量重復性：4%
♦相對示值誤差：±7%
♦測量長度：Ac X3、4、5、6、7 (1.0-17. 5mm)
♦測量范圍：640 um ♦ 分辨率： 0. OOlum
探針在被測工件上掃描由工件表面輪廓不平而形成上下位移， 使傳感器中磁回路間隙改變導致電感變化，形成微弱訊號。傳感器輸 出的微弱訊號經放大、鑒相后，經過低通濾器及根據高斯濾波器特性 而設計的長波段濾波網絡，輸出模擬訊號分成二路，R參數；輪廓參 數分別由數據采樣卡內的16位A/D轉換處理，形成數字信息，經PC 運算處理顯示。
二、評價項目:
Rk, Wp, Wv
二、特點：
♦的高精度采集控制系統，有效精度達0.001 ^im
♦關鍵件采用特殊去應力合金材料及特殊的去應力處理工藝，精度保
持長久
♦高精度直線導軌 ♦的高精度采集控制系統 ♦模塊化設計使用戶維護成本降至*低 ♦ PC配置靈活，可據根用戶要求配置
♦具有針對性、*性的系統保證測量的實時性及系統的穩定性 四、技術參數：
♦*大測量長度：25mm ♦直線度測量精度：0.4um
♦濾波器：高斯(Gaussian)濾波器（IS011562:1996)，RC 濾
波器
♦截止波長：0.25，0.8，2.5
♦測量重復性：4%
♦相對示值誤差：±7%
♦測量長度：Ac X3、4、5、6、7 (1.0-17. 5mm)
♦測量范圍：640 um ♦ 分辨率： 0. OOlum
♦測量速度： 0. lmm/s，0. 32mm/s, 0. 5mm/s ♦返回速度：lmm/s (自動）
♦測量方式：傳感器移動式 ♦主機重量：約200Kg
六、軟件界面:
♦測量方式：傳感器移動式 ♦主機重量：約200Kg
♦主機尺寸：長（1600mm) x 寬(700mm) x 高（1400mm) 五、設備配置
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六、軟件界面:
文件(I)幫助㈤
-1.453 u m
| Ra | 0.4103 Pm | RP | 0.6621 Pm | Rpk | 0.0610 |
| Rt | 1.4526 | Rpm | 0. 6237 Pm | Rk | 1.0071 |
| Rz (Ry (j | 1. 3538 ^m | Rsk | -0.2011 | Rvk | 0. 3662 Pm |
| Rmax | 1. 3977 Pm | Rv | 0.7356 ^ m | Mrl | 1.5* |
| Rz CDIN) | 1•3538 ^m | Rs | 21.2113 V-m | Mr2 | TO. 3* |
| Rz (jis) | 1.3237 | Rsm | 96. 1905 ^m | Rdc | 0.0000 Pm |
| R3z | 1.3184 km | Rc | 0.8763 ^ m | R | 1.8953 ^m |
|M：：il| < | > 1選擇/顯示指數|細除數g| 觸針位罝| 自動調整|手動v| a|
Ready
測星類型 |
cs-粗糙度
r波紋度
截止波長 掃描長度 測星速度
七.環境要求
♦環境要求：溫度：10〜30°C;相對濕度：<85% ♦ 功率需求：約400W;交流220V±10%，50Hz
