感元件)的兩側隔離膜片上,通過 隔離片和元件內的填充液傳送到測量膜片兩側。壓力變送器是由測量膜片與兩側絕緣片上的電極各組成一個電容器。 當兩側壓力不*時,致使測量膜片產生位移,其位移量和壓力差成正比,故兩側電容量就不等,通過振蕩和解調環節,轉換成與壓力成正比的信號。
擴散硅壓力變送器的技術參數: 精度等級:0.25級基本誤差±0.25% 非線性誤差:0.3級≤±0.3%FS 滯后誤差:≤±0.3%FS 輸出特性: ①0-10mA輸出,負載電阻0-1.5KΩ ②4-20mA輸出,負載電阻0-600Ω ③恒流輸出內阻大于10MΩ ④二線制4-20mA輸出:標準供電DC-24V 防爆標志:(RPT-Ⅲ):Exia Ⅱ CT4-6
擴散硅壓力變送器的工作原理:壓力變送器的核心是一個擴散硅敏感元件,它是在硅基片上采用離子注入并經激光修正制成惠斯登電橋,過程壓力作用于傳感器的隔離膜片上使膜片產生位移,通過膜盒內的硅油壓力傳遞到硅基片上,同時參考端的壓力(大氣壓、絕壓或密封壓)作用于硅片的另一測,這樣在硅片的兩邊就加上了一個差壓,差壓在硅片上產生了一個應力場,使惠斯登電橋的四支電阻,有兩支因拉伸而阻值變小,另外兩支因壓縮而阻值變大,變化量為Δ R,橋臂阻值的變化使電橋失去平衡這樣就產生了一個與壓力成正比的電壓輸出信號。