微型掌上真空探針臺 具有多種優勢，使其在氣敏材料的研發和測試中非常有用。以下是一些主要的優勢：
1. **多功能性**：集成了電學測試、加熱、氣體管理和蒸發功能，為氣敏材料的全面測試提供了便利。可以同時進行材料的電學性能測試和氣敏性能測試。
2. **精確控制**：樣品臺加熱功能允許精確控制樣品溫度，這對于研究溫度對氣敏材料性能的影響非常重要。
3. **可變氣氛環境**：腔體內有單獨的蒸發坩堝，可以蒸發不同的有機溶液（如乙醇、甲醇、甲苯），從而創造多種氣氛環境以測試材料在不同氣體條件下的性能。
4. **真空系統**：通過進出氣口和抽真空接口，可以控制腔體內的氣壓，進行高精度的測試。這對于研究在不同壓力下材料的氣敏性能非常有幫助。
5. **集成探針系統**：六探針電學測試系統可以提供高精確度的電學測量，適用于復雜電性能的分析。
6. **靈活性和適用性**：能夠測試多種材料和不同種類的氣體，使其成為研究多種應用和材料的理想工具。
7. **實時監測**：壓力測量口可以實時監測腔體內的壓力，使實驗數據更為可靠。
整體而言，這樣的設備設計適合于需要進行復雜、可控的多參數測試的氣敏材料研究和開發。
微型掌上真空探針臺 KT-Z4019M4T-RL
真空腔體 | ||
類型 | 高溫型室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-190℃ |
腔體材質 | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
腔體內尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | |
腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | |
腔體進氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
樣品臺 | ||
樣品臺材質 | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺升溫速率 | 高溫100℃/min 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機界面 | |
溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號接頭 | 配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 | |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數量 | 4探針（可擴展5探針） | |
探針材質 | 鍍金鎢針 （其他材質可選） | |
探針尖 | 10μm | |
手動探針移動平臺 | ||
X軸移動行程 | 20mm ±10mm（需手動推動滑臺） | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動行程 | 120° ±60°（需手動旋轉探針桿） | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動螺紋調節探針桿） | |
