X熒光光譜儀隨著分光、探測系統(tǒng)及X光管等的不斷改善和電子計算機的應用，而得到迅速的推廣和發(fā)展。可以預料，對新技術、新方法的探索，還會不斷促進X熒光光譜儀器的更新發(fā)展。

X熒光光譜儀是一種無損的，應用廣泛的光譜分析儀器，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構成，X射線管產(chǎn)生入射X射線，激發(fā)被測樣品，受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。

X熒光光譜儀在無損檢測方面，具有其他剖析技能無法比較的長處，應用X射線光譜儀掃描辦法探測土壤表層下面的是元素是X射線無損檢側(cè)技能的一個主要使用范疇，X熒光光譜儀根據(jù)有手持和臺式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構成，根據(jù)各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。

X熒光光譜儀是一種較新型的可以對多元素進行同時測定的儀器，在X射線激發(fā)下，被測元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線（即X熒光），波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

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