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  • 高低溫真空探針臺

高低溫真空探針臺

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地廣州市
  • 更新時間2025-03-20
  • 廠商性質其他
  • 所在地區(qū)廣州市
  • 實名認證已認證
  • 產品數(shù)量63
  • 人氣值188
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麗景電子科技(廣州)有限公司和艾維特電子科技(佛山)有限公司 是專業(yè)從事儀器設備和探針臺設備的研發(fā)、生產、銷售和服務的。代理銷售的儀器設備有通用儀器、探針臺、光刻機、手套箱、真空鍍膜機、通訊設備、自動化系統(tǒng)、集成電子設備及軟件開發(fā)。 公司不僅致力于以上各類產品的行銷,更注重于為客戶提供全面解決方案,包括售前技術服務、安裝及培訓服務、售后技術支持及升級維修服務。以高質量的產品、高度的服務意識、高效率地為廣泛的客戶提供完善、快捷的服務。 麗景電子科技(廣州)有限公司 和艾維特電子科技(佛山)有限公司 專注于為半導體、LCD、太陽能、等行業(yè)領域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的測試儀器,立志成為行業(yè)的探針臺專用檢測設備專家,為行業(yè)的發(fā)展貢獻自己的力量。我們代理銷售國內外產牌如:概倫電子、北京博達微電子(PDA)、美國國家儀器(NI)、泰克(Tektronix)、吉時利( Keithley)、美國Tegam、是德(keysight), Fluke, ,LeCroy,GGB,Lakeshore等,主營產品有:半導體分析儀、示波器、功率校準系統(tǒng)、微歐姆計、高精度數(shù)字電表、多通道資料采集系統(tǒng),數(shù)字源表,函數(shù)產生器,任意波形產生器,功率計,電壓放大器,精密電壓/電流源 ,半導體測試系統(tǒng),1/F測試系統(tǒng),CV測試儀,電子負載,頻率計,微波,無線通訊綜合測試設備,功率放大器,交流,直流電源供應器,UPS,發(fā)電機,手動探針臺(包含晶圓測試探針臺、射頻探針臺、雙面探針臺、氣敏探針臺、真空高低溫探針臺等)、自動探針臺、探針臺配件、激光測試儀、美國GGB探針(包含射頻探針、微波探針、高頻探針、直流探針等)、蜂窩式光學平臺、金相顯微鏡、I-V/C-V參數(shù)測試儀等。 目前公司營銷網點已覆蓋廣州、深圳、北京、上海、武漢、青島、長沙、貴陽、澳門、珠海、廈門、江門、中山、湛江等城市,服務過上千家客戶,部分案例有:清華大學、中山大學、暨南大學、廣東工業(yè)大學、華南理工大學、華南農業(yè)大學、深圳大學、湖北大學、湘南學院、嶺南師范學院、華南師范大學、淮陰工學院、湖北大學、華中科技大學、公司,曲阜師范大學、季華實驗室、華星光電、深圳技術大學、澳門大學、五邑大學、深圳理工學院、深圳材料研究院、電子科技大學、貴州大學、凱里學院等。 專業(yè)、誠信、勤奮、熱忱是我們的工作作風,我們時刻滿懷著服務好每一位新老客戶的心愿,期待著您的垂詢!
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極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗
高低溫真空探針臺 產品詳情

極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。

高溫無氧化測試:

當晶圓加熱至300,400,500甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。

整體規(guī)格:

載物Chuck 溫度范圍:4.2K-480K

外置4個定位針臂

探針X-Y-Z三方向移動,行程:25mm,定位精度:10微米

最多可以外置6個定位針臂

載物chuck 可到2

雙屏蔽chuck高低溫時達到100FA 的測試精度

針臂定位精度可以升級為0.7微米

極限真空到10-8 torr

可以選擇射頻配件做67 GHz的射頻測試

可以選擇防震桌

可以選擇超高真空腔體

客戶訂制

溫控規(guī)格:

控溫范圍

4K-480K

控溫精度

0.1K

溫度穩(wěn)定性

4 K + - 0.2 K


77 K + - 0.1 K


373 K + - 0.08 K


473 K + - 0.1 K


823 K + - 0.2 K(可選)


973 K + - 1.0K(可選)

常溫到8K冷卻時間:

1小時40分鐘

8K到常溫升溫時間:

1小時30分鐘

從常溫開始的升溫時間

200 ℃ 550℃ 700 ℃

(4 chuck,單位分:秒)

1:00 1:30 2:00

電源

直流

材質

不銹鋼

功率(4chuck)

850W

機械規(guī)格:

針座行程

X軸方向

25.4mm(1 inch)


可以選擇50.8mm

Y軸方向

25.4mm(1 inch)


可以選擇50.8mm

Z軸方向

25.4mm(1 inch)


可以選擇50.8mm

移動精度


X軸方向

10 micron


可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron

Y軸方向

10 micron


可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron

Z軸方向

10 micron


可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron

探針可旋轉角度

+-5



光學部件規(guī)格:

顯微鏡X-Y軸方向行程

2"*2"


可以選擇4"*4"

總共放大倍率

240X


可以選擇更高倍率

真空腔觀察窗口

2 inch


外部石英材質99%紅外線穿過率


內部吸收紅外線僅可見光通過

光源

150W可連續(xù)調節(jié)

雙光纖導引

可選附件

防震桌

方形chuck

分子泵組

射頻部件

Chuck可外部移動裝置

客戶定制。


關鍵詞:顯微鏡
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