SJ6000高精度激光干涉儀測量設備集光、機、電、計算機等技術于一體，采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。具有高精度、高分辨率、快速測量等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
產品配置
SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
線性測量應用
SJ6000高精度激光干涉儀測量設備廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。
在動態測量軟件配合下，SJ6000激光干涉儀可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
動態測量概述
SJ6000動態測量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進行相應的線性、角度或直線度的動態測量與性能檢測。
動態測量包括基于時間的動態測量和基于距離的動態測量，SJ6000動態測量軟件可對動態測量數據進行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。
位移-時間曲線
速度-時間曲線
加速度-時間曲線
振幅-頻率曲線
動態測量應用
1、基于時間的動態測量
機器運動控制性能評價：
1）運動控制器PID控制參數測試與設置
2）高速運動后機器的穩定性測試與評價
3）高性能運動控制器的微小步幅的測試
2、振動監視
1）掃描應用：用于定位精度不重要，但恒速對實現高質量成像非常關鍵的場合
2）機床應用：典型應用包括要求刀具慢速、平穩輪廓運動的高質量表面精加工
3、振動頻率分析
1）被測對象的振動頻率分析
2）FFT快速傅立葉變換分析
4、基于距離的動態測量
基于距離的動態測量，SJ6000激光干涉儀系統將沿著軸線“飛行”測量，即運動軸在不停頓的情況下以用戶間隔進行數據采集。
5、提供脈沖觸發方式采集
CT70正交觸發盒可監控光柵、編碼器、控制器等信號，配合SJ6000激光干涉儀，可實現脈沖觸發啟動采集和連續脈沖觸發采集。適用于運動軸在不停頓的情況下，觸發激光干涉儀按照間隔位置進行數據采集。
產品功能
（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；
（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
（5）具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；
（6）支持手動或自動進行環境補償。
部分技術指標
主機
穩頻精度：0.05ppm
動態采集頻率：50 kHz
預熱時間：≤ 6分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃
存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環境濕度：(0~95)%RH
環境補償單元
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)
角度測量范圍：±10°
平面度測量范圍：±1.5mm
直線度測量范圍：±3mm
垂直度測量范圍：±3/M mm/m
便攜箱尺寸：613*460*230mm
標準配置重量：18kg
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