3D輪廓測量設備ES-450
技術(shù)規(guī)格 | ES-450 |
外觀尺寸 | 1700mm*1400mm*1900 mm |
X.Y測量行程 | 450mm*450mm |
Z軸可調(diào)行程 | 50mm |
有效測量范圍 | 450mm*450mm |
掃描最少步距 | 1μm |
掃描速度 | 10mm/S |
檢測重復程度 | ≤0.2μm |
電 源 | AC220V±10% |
重 量 | 1500kg |
噪 音 | 70db |
工作環(huán)境 | AC220V±10% |
功能描述:
◆ 3D形貌
◆ 臺階高
◆ 粗糙度
◆ MEMS形貌
◆ TSV
◆ 光刻膠厚度
◆ 刻蝕圖形
◆ Bump
◆ 金球
◆ 銅柱